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鉑悅儀器（上海）有限公司
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產品描述：采用統一的電氣和氣體接口，與CCU-010 HV和CCU-010 LV主體機配套使用。
盡管用于CCU-010 LV和CCU-010 HV緊湊式鍍膜機的SP-010濺射頭的形狀小巧，它仍然具備在真空中進行高質量濺射鍍膜所需的特性。
此模塊把磁控管、靶材、擋板、工藝壓力調節器和電源器件*整合到一個裝置中，裝置準備就緒，隨時可以運行，并且便于維護。
通過接口供電、供氣和傳送信號，只需一項手動操作，就可以把系統設置成濺射裝置。
亮點：
· 以電子方式控制工藝真空度，容器內壓力穩定。
· 設有環形氣孔，工作氣體分布均勻。
· 對碎片進行探測和監控，操作。
· 具備靶材冷卻功能，帶有溫度監測，運行順暢。
· 采用統一的電氣和氣體接口，與CCU-010 HV和CCU-010 LV主體機配套使用。
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