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成都沃特塞恩電子技術有限公司
爭氣(Endeavour)系列射頻電源
項目 | 通用指標 |
頻率 | 2MHz/13.56MHz/27.12MHz/40MHz/60MHz |
頻率誤差 | 0.005% |
額定輸出功率 | 5w-1.5kW/3kW;30W-6kW;50W-10kW |
功率模式 | Forward power;load power |
功率步進 | 1W(最小0.1W-低功率高精度模式,5W開始) |
功率重復性(同一電源) | ±0.5% |
整機效率(額定功率下) | 63% |
散熱方式 | 水冷+風冷 |
通信接口 | Analog/Ether CAT/RS232/Ether NET/local |
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連續波
脈沖波
ICP/CCP干法刻蝕
PECVD
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