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成都沃特塞恩電子技術有限公司


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HMPS-2060P的微波等離子體CVD設備

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更新時間:2022-07-11 17:39:17瀏覽次數:225次

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經營模式:生產廠家

商鋪產品:47條

所在地區:四川成都市

聯系人:宛女士 (市場專員)

產品簡介

HMPS-2060P的微波等離子體CVD設備 沃特塞恩旗下的和瑞微波事業部專業從事微波能、微波等離子體應用技術研發及MPCVD設備生產、具有多項自主知識產權……,我司生產的這款型號為HMPS-2060P的微波等離子體CVD設備具有以下優勢特點:. 微波反應腔新型設計,功率密度大。. 產品沉積速率快、沉積質量高。. 開關型微波電源,微波輸出穩定性高。. 性能*,安......

詳細介紹

技術規格
(1)型號HMPS-2060S
(2)電源AC380±10% V 三相五線制 50Hz,額定輸入<10KVA
(3)微波輸出功率0.5~6kW 連續可調
(4)功率穩定度優于2%
(5)紋波≤1%
(6)微波頻率   2450MHz±50MHz
(7)測溫方式     紅外300~1400℃
(8)極限真空度6×10-6torr
(9)腔體內工作壓力   7torr~250torr
(10)樣品臺 Φ60mm
(11)樣品臺軸向調節范圍 0-60mm
(12)工作氣氛五路(可用戶定制)
(13)微波泄漏值 <5mW/cm2
(14)工作環境 溫度15-40℃,相對濕度≤60%,無腐蝕性氣體
(15)冷卻水>22L/Min


應用范圍

適合光學、電子、工具級金剛石膜或單晶、石墨烯等的沉積,材質表面處理、低溫氧化物的生長等。



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