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產(chǎn)品簡介

在MEMS和封裝領(lǐng)域,SUSS涂膠顯影設(shè)備得到廣泛應(yīng)用和客戶支持 提供包括PR/PI的旋涂/噴涂、顯影、HMDS處理、熱板和冷板等功能,集成了如去厚膠邊,背面清洗,工藝腔自動清洗等功能。 同時,涂膠/顯影模塊可以通過準確控制工藝參數(shù),如加裝溫濕度控制系統(tǒng)、涂膠/顯影方式、溫度、時間和用量,以達到工藝效果。

詳細介紹


• 在MEMS和封裝領(lǐng)域,SUSS涂膠顯影設(shè)備得到廣泛應(yīng)用和客戶支持

• 提供包括PR/PI的旋涂/噴涂、顯影、HMDS處理、熱板和冷板等功能,集成了如去厚膠邊,背面清洗,工藝腔自動清洗等功能。

• 同時,涂膠/顯影模塊可以通過準確控制工藝參數(shù),如加裝溫濕度控制系統(tǒng)、涂膠/顯影方式、溫度、時間和用量,以達到工藝效果。

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