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室溫自動探針臺

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更新時間：2022-02-26 11:03:43瀏覽次數(shù)：88次

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北京麥迪森科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

室溫自動探針臺是高可靠性系統(tǒng)，主要應(yīng)用在半導體/微電子，電子，機電，物理，化學，材料，光電，納米，微機電/MEMs，生物芯片，航空航天等科學研究領(lǐng)域，以及IC設(shè)計/制造/測試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產(chǎn)制造領(lǐng)域

詳細介紹

室溫自動探針臺是高可靠性系統(tǒng)，主要應(yīng)用在半導體/微電子，電子，機電，物理，化學，材料，光電，納米，微機電/MEMs，生物芯片，航空航天等科學研究領(lǐng)域，以及IC設(shè)計/制造/測試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產(chǎn)制造領(lǐng)域。

旨在預算與高測量可靠性之間尋求平衡點，該平臺配備高精度位移臺，可實現(xiàn)X、Y、Z、 R等方向自動調(diào)整，各移動軸可實現(xiàn)±0.005mm以下的精度定位，對陣列型測量特征可實現(xiàn)快速準確的測量。經(jīng)濟實用，穩(wěn)定性強，可升級擴展，操作方便是本產(chǎn)品的核心價值，在各大高校、研究所及半導體行業(yè)應(yīng)用廣泛。

產(chǎn)品特征

標配4個探針臂，可提供4-8個探針臂。調(diào)節(jié)范圍50mm*50mm*30mm，調(diào)節(jié)精度優(yōu)于5um。每個探針臂配備一根Triax三同軸低漏電線纜及探針。樣品臺底座配備額外一根Triax三同軸低漏電線纜；
顯微鏡模塊：連續(xù)變倍單筒顯微鏡，光學放大倍率：0.5X~5.0X（使用1X附加物鏡時），視頻放大倍率約700倍。可選2X附加物鏡。分辨率優(yōu)于2um。全高清數(shù)字攝像頭，帶同軸照明和環(huán)形照明，帶機械調(diào)焦和光學調(diào)焦；
樣品座采用電機驅(qū)動，可實現(xiàn)快速于目鏡下尋找樣品，調(diào)節(jié)范圍：100mm*100mm*15mm*±180°。

室溫自動探針臺?

室溫自動探針臺（加磁場）

室溫自動探針臺產(chǎn)品參數(shù)
型號	TZ-H-06
外形	444607646
重量	40kg
XY軸行程定位精度	± 0. 005mm
Z軸行程定位精度	± 0. 005mm
R軸行程定位精度	±0.05°
測試直徑	6/8/12寸
X-Y軸行程	100mm
Z軸行程	15mm
R軸行程	360°
X-Y軸額定速度	100mm/s
Z軸額定速度	10mm/s
R額定速度	20°/s
探針臂調(diào)節(jié)行程	X-50mm, Y-50mm, Z-30mm
探針臂調(diào)節(jié)精度	5um
探針臂	每個探針臂配備一根Triax三同軸低漏電線纜及探針，樣品臺底座配備額外一根Triax三同軸低漏電線纜
顯微鏡倍率	0.5X~5.0X（使用1X附加物鏡時）
地腳	底部塑膠減震地腳
探針頻率	26GHz-100GHz（可選）