一是原材料低。臭氧氣的原料來源充足，可直接用空氣作原料，對原料的處理幾乎不用花錢。
操作簡便，在使用微電腦控制的臭氧發生器時，可設定工作參數，不需人工干預，節省人力成本。
可以降低醫療保健費用的開支。自動控制程度高，人員不必待在消毒室內，飲用水消毒處理設備/大型臭氧發生器在發揮消毒作用后，會迅速分解，因此，用臭氧消毒，不會對操作者的健康造成危害，不會引發像化學熏蒸劑消毒那樣的職業病。
運營成本較低；對臭氧進行消毒，消耗的費用主要是電費，例如，一個300立方米的食品廠使用臭氧進行消毒，只需使用15克臭氧，保持空間臭氧濃度達到10ppm一小時即可。為了達到這一要求，只需使用臭氧發生量為10克/小時的臭氧發生器，就可以達到70~80瓦的功率。這就是說，一個80瓦特的臭氧發生器只需運轉一小時，就能滿足300立方米的食品廠的消毒要求，很明顯，這樣的電費不高，食品廠完負擔。與之相比，每小時產生10克臭氧的臭氧發生器，在4000-5000元左右。
與使用化學熏蒸劑消毒相比，臭氧發生器是一次投入較大的消毒項目；但從長遠來看，臭氧消毒的運行費用不高。化學藥品熏蒸劑是有毒有害的物品，而且是一次性消耗品，為了保存和使用這類物品，必須有專門的倉庫和設施，費用也不低，食品行業的費用很可能比購買臭氧發生器的費用高得多；而且每消耗一次化學熏蒸劑，費用也很高。和臭氧發生器一樣，只要保養好，使用正確，可以用很多年。
飲用水消毒處理設備/大型臭氧發生器的消毒能力是有大小之分的，也各不相同，食品企業*可以根據自己的生產需求來選擇。普通食品廠，選用產生量100克/小時的臭氧發生器即可，消毒量2000立方米左右。