19世紀初，水處理臭氧發(fā)生器消毒消毒設備的強氧化性得到了廣泛的認可，人們發(fā)現(xiàn)臭氧對木材、稻草、淀粉、植物色素、天然橡膠、脂肪、動植物油和酒精等都有氧化作用。一八六八年，德格貝斯(de.Gebeth)獲得了臭氧使用技巧的項，他利用臭氧將煤焦油混合物氧化成適合涂漆、涂漆的產(chǎn)品。在1873年，歐洲把臭氧應用于糖精和亞麻漂白。臭氧滅菌在消毒中的應用在過去的一百多年中已經(jīng)深入到許多域，為人類生產(chǎn)技能的發(fā)展做出了巨大貢獻。根據(jù)使用用途，臭氧消毒按照水質(zhì)處理、化學氧化、食品加工保鮮和醫(yī)療四大類劃分，每一類的臭氧消毒設備的研制均已達到相當高的水平。現(xiàn)在，世界上已經(jīng)形成了立的臭氧技術(shù)產(chǎn)業(yè)和組成部分，于1973年成立了世界臭氧協(xié)會，該協(xié)會位于加拿大。本學會每兩年舉行一次世界會議，就各發(fā)展臭氧技術(shù)的論文、報告進行交流，發(fā)達家遍及各地設立際臭氧協(xié)會區(qū)域組織，進行學術(shù)交流。

第二次世界大戰(zhàn)后，水處理臭氧發(fā)生器消毒消毒設備在世界范圍內(nèi)的使用技能得到了大的發(fā)展。一，1902年，德帕德博恩建立了一個大型水廠，利用臭氧來處理水質(zhì)，開創(chuàng)了臭氧水處理的先河，目前世界上歐美、日本、加拿大等數(shù)以千計的臭氧水廠已經(jīng)開始使用臭氧來消毒。廠家?guī)缀醵寂溆械V泉水，純凈水，臭氧消毒設備。70年代初期，美開始用臭氧處理日間污水，主要目的是消毒消毒，去除污染物，脫色等達到排放標準。在缺水地區(qū)，日本則采用臭氧處理污水，作為中水使用。近幾年，美、日、德、法等建立了大型臭氧處理設施。第二，工業(yè)用臭氧消毒也已經(jīng)非常普遍，主要用于化工、石油、造紙、紡織、制藥、香料等行業(yè)。食品業(yè)的使用范圍更廣，1904年，歐洲使用臭氧來保存牛奶、肉制品、奶酪和蛋白質(zhì)等食品，在30年代后期，臭氧發(fā)生器被安裝在80%的美冷藏蛋庫中。第二次世界大戰(zhàn)之后，歐美、日等將臭氧消毒法應用于食品水果、蔬菜的儲藏、制造、運輸?shù)拳h(huán)節(jié)。就醫(yī)學而言，二戰(zhàn)時日本用臭氧做人體，俄羅斯用來做強氣體(臭氧化空氣)的運動者。