冷卻塔循環水處理臭氧發生器阻垢劑：循環冷卻水系統中的水垢，由于鹽溶解在水中，不斷蒸發濃縮而結晶分離，形成水垢。臭氧通常被認為沒有分化水垢的能力，但是DOE(美能源部)和NASA(美宇航局)的討論表明，臭氧有阻止水垢生成的能力，使用臭氧可以使水中的溶解總固體達到1700mg/l，而不產生水垢，因為硬度達到724mg/l(以CaCO3計)。造成這一現象的原因可能是硝酸根的生成和臭氧使碳酸鹽向重碳酸鹽方向移動。

臭氧抗腐蝕：一般認為臭氧是一種強氧化劑，因而具有腐蝕性，但研討和應用表明臭氧具有抗腐蝕性，而且臭氧按捺腐蝕的機制與鉻酸鹽緩蝕劑大致相似，其主要原因是臭氧分化后發生的活潑原子氧與亞鐵離子反應形成的反應，在陽表面形成了一層含有γ-Fe203的鈍化膜，對金屬有很好的保護作用。NASA的討論會顯示，在循環冷卻系統中使用臭氧后，鋼鐵在鋼的腐蝕速度達到規范要求的1/2~1/3。
(3)臭氧殺生：冷卻塔循環水處理臭氧發生器是較強的氧化性殺生劑，被廣泛認可為、無污染的殺生劑，在0.1ppm的濃度下，可有效殺滅和細菌，并可有效操縱循環水中微生物的生長，減輕生物塵埃及其引起的垢下腐蝕。同時，對垢層基質中的有機物質也能進行氧化，使其失去粘結劑而松散脫落，進而起到除垢作用。