水處理臭氧發生器選擇液氧一般適用于小規模規劃(臭氧量<100g/h)，采用變壓吸附法或負壓吸附法在現場制純氧，適用于臭氧量<100g/h的規劃。以干燥空氣為原料制備的臭氧濃度一般為1%~3%；

而且用純氧或液氧生產的臭氧濃度可以達到10%左右，而從空氣中生產臭氧的耗電量大約是其他兩種方法的2倍。
臭氧氣發生器氧化消毒特點
②臭氧作為一種的、無二次污染的氧化劑，其氧化能力是普通氧化劑中較強的，其氧化能力是氯的2倍。
②臭氧消毒對酸堿度、水溫和水中氨含量影響不大；
③臭氧去除微生物、水草、藻類等有機物質的氣味、味道，*，脫色能比Cl2和ClO2更有效、更迅速。

投加臭氧可以改變小顆粒表面電荷的性質和超細度，使帶電小顆粒聚集；在臭氧發生器內氧化溶解的有機物質時，還會產生“徽絮凝效應”，對改善混凝效果有一定作用。
⑤臭氧消毒效果好，用量少，消毒速度快，無有害物質，并能使水質有較好的感官指標。
(c)(d)臭氧可將水中難降解的大分子有機物氯化為小分子有機物，并向水中充氧使水中溶解氧增加，從而為后續處理(特別是生物處理)提供更好的條件。
水處理臭氧發生器為避免產生氯難以去除，在水源中腐殖質、藻類、酚類含量較高的水廠，提倡用臭氧來預處理。
采用水處理臭氧發生器消毒水比選用ClO2的費用稍高，但是從水質方面來說，選用臭氧發生器的費用要比選用ClO2的費用高。從經濟效益來看，兩種方法均可采用，各水廠可根據具體情況選擇相應的水質改善措施。