從生產材料、系統配置、冷卻方式、工作頻率、控制方式、臭氧濃度、氣源及電能消耗等方面，可以判斷臭氧發生器的質量優劣。高質量臭氧發生器應采用高介電材料制造，標準配置（含氣源和凈化裝置），雙電極冷卻，高頻驅動，智能控制，高臭氧濃度輸出，低電耗低氣源消耗。
       在水處理工程中使用臭氧發生器時，存在著許多影響其效率和可靠性的因素，因此，在臭氧發生器應用系統的設計中，必須注意以下問題：

      (1)高質量的臭氧發生器從設計到配置、制造材料都要按照標準要求進行，其成本遠遠高于低檔和低配置臭氧發生器。但是高質量臭氧發生器的性能非常穩定，臭氧濃度和產氧量與環境無關。但是，配置較低的臭氧發生器在工作時受環境影響較大，溫度和濕度的增加會使臭氧產量和濃度大大降低，影響處理效果。采購時應綜合評價其銷售價格與性能的比值。此外，原料氣應該過濾掉約5微米的顆粒，以防止小的干燥劑粉體或其它顆粒進入發生器的電暈區。避免電暈的產生效率。

       (2)供氣壓力無法無節制地變化，由于氣壓影響電暈功率誘導和跨越介電體所加的電壓，造成發生器工作不可靠，壓力變化范圍大。超過電暈功率范圍，會導致熔斷器或電器自動斷開。超過水處理臭氧發生器的電壓峰值也會導致介電體過早失效。