顯微硬度測量的準確程度與金相樣品的表面質量有關，需經過磨光、拋光、浸蝕，以顯示欲評定的組織。

• 試樣的表面狀態 被評定試樣的表面狀態直接影響測試結果的可靠性。用機械方法制備的金相磨面，由于拋光時表層微量的范性變形，引起加工硬化，或者磨面表層由于形成氧化膜，因此所測得的顯微硬度值較電解拋光磨面測得的顯微硬度值高。試樣采用電解拋光，經適度浸蝕后立即測定顯微硬度。
• 選擇正確的加載部位 壓痕過分與晶界接近，或者延至晶界以外，那么測量結果會受到晶界或相鄰第二相影響；如被測晶粒薄，壓痕陷入下部晶粒，也將產生同樣的影響。為了獲得正確的顯微硬度值，規定壓痕位置距晶界至少一個壓痕對角線長度，晶粒厚度至少10倍于壓痕深度。為此，在選擇測量對象時應取較大截面的晶粒，因為較小截面的晶粒其厚度有可能是較薄。
• 測量壓痕尺度時壓痕象的調焦 在光學顯微鏡下所測得壓痕對角線值與成像條件有關。孔徑光欄減小，基體與壓痕的襯度提高，壓痕邊緣漸趨清晰。一般認為：的孔徑光欄位置是使壓痕的四個角變成黑暗，而四個棱邊清晰。對同一組測量數據，為獲得一致的成像條件，應使孔徑光欄保持相同數值。
• 試驗負荷 為保證測量的準確度，試驗負荷在原則上應盡可能大，且壓痕大小必須與晶粒大小成一定比例。特別在測定軟基體上硬質點的硬度時，被測質點截面直徑必須四倍于壓痕對角線長，否則硬質點可能被壓通，使基體性能影響測量數據。此外在測定脆性質點時，高負荷可能出現“壓碎"現象。角上有裂紋的壓痕表明負荷已超出材料的斷裂強度，因而獲得的硬度值是錯誤的，這時需調整負荷重新測量。
• 壓痕的彈性回復 對金剛石壓頭施一定負荷的力壓入材料表面，表面將留下一個壓痕，當負荷去除后，壓痕將因金屬的彈性回復而稍微縮小。彈性回復是金屬的一種性質，它與金屬的種類有關，而與產生壓痕的荷重無關。就是說不管荷重如何，壓痕大小如何，彈性回復幾乎是一個定值。因此，當荷重小時，壓痕很小，而壓痕因彈性回復而收縮的比例就比較大，根據回復后壓痕尺寸求得的顯微硬度值則比較高。這種現象的存在，使得不同荷重下測得的硬度值缺乏正確的比較標準，因此有必要建立顯微硬度值的比較標準。