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半導體超純水說明

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  • 型號
  • 品牌 Onyx/安力斯
  • 廠商性質 生產商
  • 所在地 北京市
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更新時間:2025/05/28 17:13:34瀏覽次數:2311

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張總

市場部經理
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產品簡介

產地 國產 水質要求 其他
應用領域 制藥,半導體,電子,光電,LED
半導體超純水說明主要用于生產超純水過程中去除TOC有機物,降低TOC出水指標,使出水滿足美國ASTM超純水水質標準及電子工業部電子級水水質標準。

詳細介紹

半導體超純水說明

n 產品介紹:

EX-UPW-TOC產品系列是一款適用于純水(UPW)制備中對總有機碳(TOC)進行降解的先進可靠系統。通過更高185nm穿透率、實時在線的紫外線強度監測、本地/遠程的智能控制,實現高效、安全可控的總有機碳(TOC)降解。該設備在超純水制備工藝中,可使純水TOC降至1ppb以下。

~O[F97T404T4PKP)F3$S)BD.png 

n 主要優勢:

2 安全可控

真空級平行光束儀進行理論安全劑量指導設計,足夠紫外線劑量實時輸出可調,系統智能自控。

2 更高去除效率

更高純石英玻璃,系統185nm紫外線強度輸出較傳統產品提高50%以上。

2 CFD流體模擬

進行細節模擬設計,提高處理效率

2 性能穩定、操作簡便

本地與遠程控制,配備PLC、觸摸屏,紫外強度實時顯示及預警

2 先進的加工工藝

采用先進設備、工藝加工,反應器內外電解拋光,Ra<0.2

2 多形式選擇

滿足現場多樣化安裝形式,產品可選擇成套撬裝,占地面積小

半導體超純水產品規格:

處理水量

2~60m3/h

燈管配置

12~48支

燈管類型

85w/155w(185/254nm雙波段)

石英套管

T>80%@185nm

鎮流器

50~100%輸出功率可調

反應器材質

316L

潔凈等級

內外電解拋光、表面光潔度10以上(≤Ra0.2)

法蘭尺寸

DN50~DN200

額定壓力

PN10

控制柜等級

IP55,碳鋼噴塑

控制系統

本地/遠程、觸摸屏、連接SCADA系統

UV強度傳感器

分辨率0.01mw/cm2








半導體超純水說明應用領域:

1. 半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路板

2. 電解電容器生產鋁箔及工作件的清洗

3. 電子管生產、電子管陰極涂敷碳酸鹽配液

4. 黑白顯像管熒光屏的生產、波殼清洗、沉淀、洗膜、管頸清洗

5. 液晶顯示器的生產、屏面清洗

6. 集成電路生產中高純水清洗硅片

7. LCD液晶顯示屏、PDP等離子顯示屏的生產









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