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超精密光學(xué)應(yīng)力測(cè)量設(shè)備

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  光學(xué)檢測(cè)設(shè)備

應(yīng)力測(cè)量系統(tǒng)

MTF測(cè)量?jī)x/傳函儀

反射率測(cè)量

偏振 | 雙折射成像設(shè)備

膜厚測(cè)量?jī)x

激光干涉儀

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上海昊量光電設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

150AT全自動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)全自動(dòng)應(yīng)力雙折射測(cè)量系統(tǒng)150AT應(yīng)力雙折射系統(tǒng)是應(yīng)力雙折射測(cè)量系統(tǒng)家族系列產(chǎn)品

詳細(xì)介紹

150AT全自動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)

全自動(dòng)應(yīng)力雙折射測(cè)量系統(tǒng)

150AT 應(yīng)力雙折射系統(tǒng)是應(yīng)力雙折射測(cè)量系統(tǒng)家族系列產(chǎn)品。該應(yīng)力雙折射測(cè)量系統(tǒng)既可作為實(shí)驗(yàn)室科研探索測(cè)量光學(xué)組件應(yīng)力分布測(cè)量，也可用作諸如玻璃面板，透鏡，晶體，硅/多晶硅、注塑成品等工業(yè)生產(chǎn)中檢測(cè)產(chǎn)品應(yīng)力分布。產(chǎn)品軟件直觀顯示待測(cè)樣品應(yīng)力情況，便于操作和日常監(jiān)測(cè)。

150AT 應(yīng)力雙折射系統(tǒng)可以根據(jù)客戶需求選擇設(shè)置，使得測(cè)量更有針對(duì)性（高精度/大范圍相位延遲量），系統(tǒng)有著測(cè)量速度的同時(shí)也具有的測(cè)量分辨能力（<1 mm="" grid="" spacing="">等設(shè)計(jì)來幫助客戶完成一些非常規(guī)掃描/測(cè)量需求。

產(chǎn)品特點(diǎn)

自動(dòng)X/Y位移平臺(tái)掃描
二維/三維圖形/參數(shù)表格顯示樣品應(yīng)力分布測(cè)量結(jié)果
臺(tái)式整機(jī)設(shè)計(jì)組裝
靈活位移平臺(tái)設(shè)計(jì)，滿足個(gè)性化定制需求
強(qiáng)大數(shù)據(jù)擬合分析功能和友好用戶界面

參數(shù)

	高精度測(cè)量系統(tǒng)選項(xiàng)	大范圍相位延遲量測(cè)量選項(xiàng)
相位延遲量范圍:	0.005 to 120+ nm	0.005 to 300+ nm
相位延遲量測(cè)量分辨率/ 重復(fù)精度^{1, 2, 3}:	0.001 nm / ± 0.008 nm	0.0 1 nm / ± 0.015 nm
角度測(cè)量分辨率 / 重復(fù)精度¹:	0.01o / ± 0.05°	0.01o / ± 0.07°
測(cè)量速率 / 時(shí)間⁴:	up to 100 pps / sample size dependent
尺寸:	910 mm (H) x 415 mm (W) x 700 mm (D)
光源波長(zhǎng)⁵:	Various (632.8 nm standard)
測(cè)量光斑⁶:	Between 1 mm and 3 mm native (can be as low as 50 µm)
內(nèi)置測(cè)量調(diào)制頻率:	PEMLabs^TM Photoelastic Modulator 50 kHz or 50/60 kHz
解調(diào)分析技術(shù):	Hinds Instruments Signaloc^TM Lock-in Amplifier or Wave Form Capture Card
測(cè)量單位:	nm (retardation), ° (angle)