半導體行業用超純水設備首xuan東莞謙和水處理，謙和水處理專業生產超純水設備，純水處理設備，去離子水設備。

半導體行業用超純水設備的水處理系統工藝流程如下：                        

市政自來水→源水箱→源水增壓泵→多介質過濾器→活性碳過濾器→保安過濾器→高壓泵 →反滲透系統→中間箱→增壓泵→紫外線殺菌器→微濾器→EDI裝置→純水箱→氮封無菌儲水箱→增壓泵→拋光混床→用水點

一、   工藝概

1.預處理:

預處理主要是去除水中的有機物、懸浮物、膠體和余氯等，以確保RO能正常工作。處理工藝采用多介質過濾、活性碳吸附，減少RO工作時產生垢物和藻類生長及微生物污染及氧化劑。預處理系統包括：源水箱、源水泵、多介質過濾、活性碳過濾。

2.源水箱：

源水首先流入源水箱。源水箱對源水的供給起到緩沖作用，協調源水的供給量與源水泵的輸入量。當源水的供應量超過源水泵的輸水量時，源水箱水滿，通過源水箱的液位控制使用源水供給停止。當源水供應量小于源水泵的輸水量時，源水箱空，源水泵停止運行，起到保護源水泵的作用。

3.源水泵：

本系統配置一臺多級立式CHL4-40型特種離心水泵，用于對源水加壓，為預處理系統提供動力源，該泵單臺流量4.0m3/h，揚程40m，功率0.75kw，材質為不銹鋼。該泵具有體積小，高效率，低噪音等特點。 

4.多介質過濾器：

本系統是對源水中懸浮物、顆粒物及膠體等物質進行去除，同時對源水中的濁度、色度起到降低作用，它可濾掉源水帶來的顆粒、藻類等可見物。

多介質過濾是一種*的微絮凝過濾方式，本公司提供的多介質過濾器含有材質各異的多層過濾介質，完*濾除不溶于水中的雜質，保證SDI值不大于4，是后級RO的強有力保護屏。能更好的去除水中的懸浮物或非溶解性粒子（氧化物、濁度、顆粒物等），具有低成本，操作維護、管理方便等特點，特別是在降低源水中的濁度、污染指數等方面具有很好的效果。

該系統設置一臺玻璃鋼多介質過濾器，規格為φ16×65″，過濾器內填精制的具有良好的級配石英砂和無煙煤，濾層高度一般≥1000mm，在正常工作情況時，正常流速8-12m/h，總產水量為3.5m3/hr。

多介質過濾器反洗周期時間為16-48小時。反洗以壓力參數設備來控制反沖洗周期，當進出水母管上的壓力差達到0.7kg/cm2時即停止運行進行反沖洗，通過多路閥控制器進行濾器順序反洗、氣擦洗、正洗工藝過程。

5.活性炭過濾器：

活性炭工藝在水處理領域中占有相當重要的地位，是水深度處理中*的工藝，它所具有的某些特殊功效是其它水處理工藝所無法替代的。

去色:可去除由鐵、錳及植物分解生成物或有機污染物等所形成的色度。

脫氯:可去除因余氯所造成的嗅味。

去除有機物:可去除由于水源污染而常規工藝又無法去除的水中微量污染物，如農yao，殺蟲劑，氯化烴，芳香族化合物，以及BOD與COD等。

去除有機氯:可去除在源水凈化過程中及自來水出廠前投加預氧化劑和消毒劑（如lu氣）所產的THMS等“三致”物質。有分析表明，自來水中“三致物質THMS占去大半，有效的去除對于提高水質量十分關鍵。

去除氨氮和亞硝酸鹽:活性炭可有效去除氨氮和亞硝酸鹽。去除剩余氯或氧化劑，保護超濾、反滲透的濾膜,另外，它還可以除臭，去除水中的微量重金屬離子（如汞、鉻等離子），合成洗滌劑及放射性物質等。

為保證系統設備穩定運行、出水水質及出水流量、故障排除、反洗等穩定因素，該系統配置一臺玻璃鋼活性炭過濾器，規格為φ16x65″，過濾器內填精制果殼型活性炭，在正常工作情況時，正常流速10-15m/h，濾層高度一般為≥1000mm，總產水量3.5m3/hr。