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MDPlinescan在線少子壽命測試儀

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更新時間：2024-04-02 17:39:05瀏覽次數：175次

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束蘊儀器（上海）有限公司

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產品簡介

靈活的OEM少子壽命測試儀器，用于各種不同樣品的少子壽命測量，從單晶硅磚到多晶硅磚，從生長的硅片到不同層或金屬化的硅片的過程控制。標準的軟件接口，便于連接到許多處理或自動化系統。

詳細介紹

在眾多的少子壽命測量方法中，MDP（微波檢測光電導率）采用改進的少子壽命檢測技術，是微波檢測光電導衰減法檢測儀中常用的儀器之一，少子壽命測試儀原理從載流子輸運原理出發，建立廣義速率方程和偏微分方程系統。擁有的靈敏度和分辨率，很大程度提升在線檢測的速度和質量，快速出具少子壽命測試的實驗報告。

MDPlinescan被設計成一個易于集成的OEM設備，可以集成到各種自動化檢測線。關鍵的是在傳送過程中進行少子壽命掃描。樣品通常由測量頭下面的傳送帶或機器人系統攜帶。應用實例包括從晶磚到晶圓檢測，單晶少子壽命測試、多晶少子壽命測試，每塊晶圓的測量速度小于一秒。電池生產線上的來料質量檢查是經典的通用案例，也用于鈍化和擴散后的工藝質量檢查，還有許多其他特殊的應用的可能性。易于集成，只需要以太網連接和電源。

MDPlinescan W

包括一個額外的電阻率測量選項。

優點：

◇ 在µ-PCD或穩態激勵條件下線掃描少數載流子壽命和電阻率是這個小型設備的重要功能；

◇ OEM設備可以集成到多晶或單晶硅片的生產線上，在不同的制備階段，直至器件、磚塊或晶錠。

◇ 小巧的尺寸和標準的自動化接口使其易于集成。重點是測量結果的長期可靠性和精確性。

示范性線狀掃描圖

細節：

◇ 允許單晶圓片調查

◇ 不同的晶圓級有不同的配方

◇ 監控物料、工藝質量和穩定性

技術規格:

樣品	多種尺寸的多晶或單晶晶片，如156mm×156mm、晶磚、電池片等
樣品尺寸	50 x 50 mm2以上
電阻率	0.2 - 103Ω·cm
電導類型	P,N
樣品類型	硅片、部分或加工的硅片、化合物半導體及更多的產品
可測量的特性	少數載流子壽命
硬件接口	以太網
尺寸規格	體積：174 x 107 x 205mm；重量：3公斤
電源	24 V DC, 2 A