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高精度、非接觸式表面測量
現今 工件表面形貌特性受加工方法和材料的影響越來越大。
傳統輪廓探針接觸法經常不能充分反應表面的功能特性 于是三維記錄和評定成為了必需的。軟質或薄駐材料的工件也需要非接觸式測量才行。
此外 即使獲得了更高質量水平的表面 也大大增加了對測量系統中分辨率和測量精度方面的要求。
MarSurf WS 1 是基于白光干涉法使用的一種光學表面傳感器。 該技術可實現快速和高精度表面形貌測量 并適用于大范圍不同材質工件。
該設計與傳統干涉法相似 而不同的是 采用了白光而不是連續光。因為白光有較短的連續長度 所以在反應表面形貌測量時 表現更的特性。 相比傳統干涉法 在測量高度時 高度信息可以被清晰顯示和分析。被測表面區域在CCD相機中顯示 表面區域和高精度參考表面通過物鏡面干涉 以相同比例成像(Mirau 物鏡) 通過分光器取樣圖形和參考圖形變得層次性 并在相機中獲得干涉。
在測量過程中 Mirau 物鏡可通過遠程位置調節器在Z軸方向進行小范圍移動 產生的干涉圖記錄為圖像堆和評定 終轉換為高度數據。
該設計與傳統干涉法相似 而不同的是 采用了白光而不是連續光。因為白光有較短的連續長度 所以在反應表面形貌測量時 表現更的特性。 相比傳統干涉法 在測量高度時 高度信息可以被清晰顯示和分析。被測表面區域在CCD相機中顯示 表面區域和高精度參考表面通過物鏡面干涉 以相同比例成像(Mirau 物鏡) 通過分光器取樣圖形和參考圖形變得層次性 并在相機中獲得干涉。
在測量過程中 Mirau 物鏡可通過遠程位置調節器在Z軸方向進行小范圍移動 產生的干涉圖記錄為圖像堆和評定 終轉換為高度數據。
MarSurf WS 1 既可用于精密的實驗室 也可以用于生產現場環境。
其他光學測量原理在測量不同類型表面時 很容易超出其測量范圍 其中一些不能實現高度反射表面測量 另外一些則甚至*不能正確測量粗糙表面。
MarSurf WS 1 及它革新的測量信號評定適用于反光工件表面和粗糙工件表面的分析。 例如 垂直方向高分辨率可進行光學組件如透鏡或鏡片表面粗糙度次微米級精度測量。也可進行微型機械組件表面質地檢測 測量適用于各種材質的工件 可測量玻璃、紙質、油面、金屬、塑料、涂層和液體。
MarSurf XT 20 形貌測量軟件是一個強大的評定工具，擁有大范圍的功能。歸功于標準 MarWin 軟件平臺 您也可以同樣從MarSurf XC 20 軟件獲益。
其他光學測量原理在測量不同類型表面時 很容易超出其測量范圍 其中一些不能實現高度反射表面測量 另外一些則甚至*不能正確測量粗糙表面。
MarSurf WS 1 及它革新的測量信號評定適用于反光工件表面和粗糙工件表面的分析。 例如 垂直方向高分辨率可進行光學組件如透鏡或鏡片表面粗糙度次微米級精度測量。也可進行微型機械組件表面質地檢測 測量適用于各種材質的工件 可測量玻璃、紙質、油面、金屬、塑料、涂層和液體。
MarSurf XT 20 形貌測量軟件是一個強大的評定工具，擁有大范圍的功能。歸功于標準 MarWin 軟件平臺 您也可以同樣從MarSurf XC 20 軟件獲益。
? 緊湊式傳感器
? 新的照明理念
? 通過USB進行供電
? 高圖像比率 例如: 較短的測量時間
? 亞納米高度分辨率
? 測量時間 (包括評定 通常20至30秒)
? 組合式設計原理
? 可更換的照明及成像途徑
? 通過MarWin 標準形貌軟件進行評定嶄新系統的優點
? 新的照明理念
? 通過USB進行供電
? 高圖像比率 例如: 較短的測量時間
? 亞納米高度分辨率
? 測量時間 (包括評定 通常20至30秒)
? 組合式設計原理
? 可更換的照明及成像途徑
? 通過MarWin 標準形貌軟件進行評定嶄新系統的優點
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