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SKCC-YCB-X高真空磁控濺射永磁靶頭

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更新時間：2023-05-07 08:09:44瀏覽次數(shù)：153次

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沈陽科晶自動化設備有限公司

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產(chǎn)品簡介

SKCC-YCB-X高真空磁控濺射永磁靶頭

詳細介紹

產(chǎn)品簡介：SKCC-YCB-X高真空磁控濺射永磁靶頭適用靶材種類較廣，如金屬/絕緣靶或磁性/非磁性靶材。配裝有環(huán)形永磁體在靶頭上，以保證濺射鍍膜的效率和均勻性。可與DC或RF電源配合使用。

產(chǎn)品型號	SKCC-YCB-X（高真空磁控濺射永磁靶頭）
產(chǎn)品規(guī)格	2寸，SKCC-YCB-2 3寸，SKCC-YCB-3 4寸，SKCC-YCB-4 5寸，SKCC-YCB-5 6寸，SKCC-YCB-6 7寸，SKCC-YCB-7
主要特點	1、采用高質(zhì)量的不銹鋼和永磁材料制作。 2、采用電磁場的有元計算法來設計永磁體，以得到較高的磁場強度和均勻分布。 3、的磁性材料冷卻裝置結構設計，避免冷卻水腐蝕磁性材料，延長其使用壽命。 4、標準的HN型接頭，可與DC和RF電源相匹配。 5、安裝采用標準真空接頭，便于操作。 6、靶材更換較為簡單，無需調(diào)整濺射頭的高度。
配套電源	1、直流DC；2、射頻RF
備注	如需要折靶則： 2寸折靶，SKCC-YCB-2-Z 3寸折靶，SKCC-YCB-3-Z 4寸折靶，SKCC-YCB-4-Z