1、X、Y坐標：測量范圍X-200mm、Y-100mm，分度值0.001mm 2、瞄準顯微鏡：升降行程120mm，立臂傾斜范圍左右各15°（分度值10'），照明光闌調節范圍Φ3mm-Φ32 mm（分度值1mm） 3、測角目鏡：角度測量范圍360°，分度值1' 4、輪廓目鏡：角度測量范圍±7°，分度值10'，圓弧分劃板曲率半徑0.1mm-100mm，螺紋分劃板普通螺紋螺距 0.25mm-6mm、梯形螺紋螺距2mm-20mm 5、光學分度臺：測量范圍360°，分度值1' 6、光學定位器：測頭直徑Φ3mm±0.1mm（實際直徑的極限檢定誤差不大于0.0005mm），測量力8g-14g，大測量深度15mm 7、玻璃工作臺：215mm×130mm 8、頂針架：大夾持直徑Φ100mm，大夾持長度當被測件直徑≤55mm時為750mm，當被測件直徑>55mm時為600mm 9、V型架：左V型架調節范圍前后各5mm，右V型架調節范圍向上15mm、向下3mm 10、大承載量：40kg 11、物鏡：1×、3×、5× 12、測角或輪廓目鏡：總放大倍數10×、30×、50×，物方視場Φ20mm、Φ6.6mm、Φ4mm，工作距離81mm、90mm、65mm 13、雙像目鏡：總放大倍數15×、42×、65×，物方視場Φ13mm、Φ4.7mm、Φ3mm，工作距離47mm、85mm、63mm 14、溫度要求：工作室溫度為20℃±2℃，溫度變化每小時不超過1℃，被測量件和本機溫差不超過0.5℃ 15、XY坐標精度：用玻璃毫米級分劃尺檢定時大不準確度（1+L/100）µm，L為測量長度，單位為mm，分劃尺按修正表修正時，X不大于0.0025mm，Y不大于0.0015mm 16、測角目鏡精度：測量角度大不確定度不大于1' 17、雙像目鏡精度：合像不穩定性不大于0.0005mm，不正確性不大于0.001mm 18、光學分度頭精度：大不準確度不大于1' 19、光學分度臺精度：大不準確度不大于30″ 20、光學定位器精度：測量的不穩定性不大于0.001mm，不準確度不大于0.0015mm | 
