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高真空三溫區(qū)CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-Ⅲ-C9HV

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更新時間：2020-12-18 16:53:39瀏覽次數(shù)：413次

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沈陽科晶自動化設備有限公司

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產(chǎn)品簡介

高真空三溫區(qū)CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-Ⅲ-C9HV

詳細介紹

產(chǎn)品簡介：高真空三溫區(qū)CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-Ⅲ-C9HV是由九通道質(zhì)量流量控制器和高真空機組組成的CVD系統(tǒng)，其爐管直徑為4″溫度可達1200℃，極限真空可達 10^-5torr，混氣系統(tǒng)可對1-9種氣體進行精確的混合，然后導入管式爐內(nèi)部，可用來研究氣體環(huán)境對材料的影響。

產(chǎn)品型號	高真空三溫區(qū)CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-Ⅲ-C9HV
安裝條件	本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：不需要 2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地 3、氣：設備腔室內(nèi)需充注氣體，需自備氣瓶氣源 4、工作臺：尺寸1600mm×600mm×700mm，承重150kg以上 5、通風裝置：需要
主要特點	1、爐體采用雙層殼體結構，并帶有風冷系統(tǒng)，使得殼體表面的溫度<60℃。 2、保溫材料采用高純氧化鋁纖維，減少熱量損失，且內(nèi)膛涂有高溫氧化鋁涂層，可提高加熱效率，延長使用壽命。 3、設有三個溫區(qū)，可獨立控溫，可設置50段升降溫程序，并設有過熱和斷偶保護。 4、供氣系統(tǒng)與真空機組置于移動架內(nèi)，方便移動。 5、真空系統(tǒng)采用一鍵操作，按下“start”鍵后隔膜泵和渦輪分子泵將會啟動（隔膜泵先啟動，待真空度達到 10^-2mbar后分子泵自動啟動）。 6、根據(jù)腔體內(nèi)的真空度，系統(tǒng)自動控制旋片泵的旋轉(zhuǎn)速率。 7、已通過CE認證。
技術參數(shù)	管式爐 1、電源：AC 208V-240V單相 50Hz/60Hz 7KW 2、爐管：高純石英管，外徑Ø100mm×內(nèi)徑Ø92mm×1400mm 3、加熱元件：摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲，表面涂有氧化鋯 4、加熱區(qū)：溫區(qū)I長220mm，溫區(qū)II長440mm，溫度III長220mm，總長880mm 5、恒溫區(qū)：500mm（三個溫區(qū)設為同一溫度時） 6、工作溫度1200℃，連續(xù)工作1100℃ 7、大升溫速率：≤20℃/min 8、控溫精度：±1℃ 9、熱電偶：3根K型熱電偶
	高真空機組 1、輸入電源：AC110V或AC220V可切換 50Hz/60Hz 2、消耗功率：110W 3、殼體尺寸：600mm×600mm×700mm 4、大承重量：270kg 5、抽氣速率：N₂-33L/s，He-39L/s，H₂-32L/s 6、工作范圍：1000mbar-<10^-7mbar 7、極限真空度：10^-5torr 8、數(shù)字式真空顯示計：10^-8mbar-10³mbar
	質(zhì)量流量混氣系統(tǒng) 1、質(zhì)量流量計：9通道精密質(zhì)量流量計 2、流量計范圍：10sccm-1000sccm三個，20sccm-200sccm三個，30sccm-10sccm三個 3、壓力表：3個，用來檢測混合氣體壓力
產(chǎn)品規(guī)格	尺寸：爐體550mm×380mm×520mm，高真空機組600mm×600mm×700mm，　　　質(zhì)量流量混氣系統(tǒng)600mm×600mm×700mm 重量：100kg
真空配件	1	不銹鋼真空密封法蘭	2個
	2	精密針閥	2個
	3	1/4″軟管接頭	1個
	4	高溫硅膠O型密封圈可承受300℃）	6個
	5	氧化鋁管堵	1套
	6	KF-40真空波紋管	1根
	7	KF-40快速卡箍	3個
	8	KF-25卡箍	2個
可選配件	防腐型數(shù)字式真空顯示計