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合肥科晶 2英寸高真空磁控濺射頭

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更新時間:2021-06-11 09:45:24瀏覽次數:137

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產品簡介

合肥科晶 2英寸高真空磁控濺射頭(HVMSS-SPC-2 2英寸高真空磁控濺射頭)售后服務:1、我司承諾所銷售產品全部為原廠原裝。2、本產品全國聯保,質保期:1年質保(消耗品除外);3、質保期內如有產品質量問題,免費維修;質保期外長期提供技術支持,不收維修費,只酌情收取基本配件費及相關費用;4、所有產品售后問題,請直接聯系我司,我司售后服務團隊會在24h內響應處理。

詳細介紹

合肥科晶 2英寸高真空磁控濺射頭(HVMSS-SPC-2 2英寸高真空磁控濺射頭)

產品概述:

HVMSS-SPC-2是一款可安裝直徑為2英寸靶材的磁控濺射頭,可適用的靶材種類較廣,如金屬/絕緣靶材或磁性/非磁性靶材。環形NdFeB永磁體安裝在濺射頭上,以保證濺射鍍膜的效率和均勻性。此款濺射頭可與DC或RF電源配合使用。

合肥科晶 2英寸高真空磁控濺射頭

特征:

· 采用高質量的不銹鋼和陶瓷材料制作

· 采用電磁場的有元計算法來設計永磁體,以得到較高的磁場強度和均強場分布

· 磁體表面涂有一層保護層,以防止冷卻水的腐蝕,延長其使用壽命

· 標準的HN型接頭,可與DC和RF電源相匹配

· 安裝是采用標準真空接頭,便于操作

更換靶材較為簡單,無需調整濺射頭的高度

所需功率:

  • DC(大)1000W
  • RF(大)500W

大濺射電流:3A

濺射電壓:100-1000V

濺射時腔體真空度:5-100 mTorr

尺寸:

  • 陽極護套直徑:3.5英寸
  • 總長度:14英寸

靶材:

  • 直徑:2.0英寸(50.8mm)
  • 厚度:對于非磁性靶材,大厚度為1/8英寸
    對于磁性靶材,大厚度為1/16英寸
  • 靶材利用率:30%
  • 磁鐵:NdFeB 稀土磁鐵

需要冷卻水:

  • 流速:0.8 GPM
  • 進水溫度:<20 ℃
  • 水管:0.25" OD.

可選配件:

· 當同時購買300W射頻發射器和2英寸磁控濺射頭時,本公司會贈送一高真空快速接頭

· 此快速接頭的內徑為0.75英寸,可將濺射頭安裝在真空腔體上,真空腔體上的安裝孔直徑為1英寸,真空腔體的壁厚不得大于1英寸

循環水冷機,流量為16L / min ,水箱容積為6L

公司簡介:
森瑪特儀器(北京)有限公司由一群有著共同愿景的實驗室儀器設備*人員創建,秉承“共享共贏”的經營理念。旨在成為中國實驗室儀器和設備行業專業技術和服務。從銷售團隊、運營團隊、市場團隊、產品支持到售后服務團隊,全部受過系統的高等教育、嚴格的產品技術和優良的服務意識的培訓。我們能夠為客戶提供優質的實驗室全套解決方案。
森瑪特服務于國內眾多國內外企業的研究與發展機構、重大科學研究和試驗發展項目、食品安全體系等。客戶群體遍及高校科研和國內外企業。主營產品涉及于生命科學、環境監測、材料科學、食品安全、理化研究等眾多領域。
森瑪特儀器-中國好儀器,為客戶提供好儀器,服務中國客戶,同時為客戶提供電子商務服務和網上技術咨詢服務。我們的承諾是:以合理的價格,過硬的質量,快捷的貨期及售前咨詢、售中指導、售后服務,在為廣大客戶提供優質產品的同時,讓您充分感受到現代工業給您帶來的方便和震撼。我們將堅持不懈地探索創新,注重新產品品質,為客戶供應更多的新產品。竭誠歡迎與各界同仁,有志之士進行廣泛的友好合作,實現優勢互補,雙贏共享!

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