合肥科晶 EQ-TM106膜厚監測儀

產品概述：

EQ-TM106膜厚監測儀是采用石英晶體振蕩原理，結合*的頻率測量技術，進行膜厚的在線監測。主要應用于MBE、OLED熱蒸發、磁控濺射等設備的薄膜制備過程中，對膜層厚度及鍍膜速率進行實時監測。根據實時速率可以輸出PWM模擬量，作為膜厚傳感器使用，與調節儀和蒸發電源配合實現蒸發源的閉環速率控制。

合肥科晶 EQ-TM106膜厚監測儀

• 主要特點：
  本機可與計算機連接。
• 顯示儀具有界面簡潔、直觀、合理、操作方便快捷等優點，可直觀顯示所測的膜厚、速率、頻率、PWM
• 控制輸出的百分比等工作狀態。
• 通過軟件或顯示儀可對門控時間、輸出方式、速率算法、材料參數、輸出量程及通訊參數等進行設置，并可將所測相關數據寫入Excel文件。
• 具有體積超小、測量精度高、操作簡單、使用方便等優點。

EQ-TM106-1監測組件：

• 電源：DC5V（±10%），大電流400mA
• 頻率分辨率：±0.03Hz
• 膜厚分辨率：0.0136Å（鋁）
• 膜厚準確度：±0.5%，取決于過程條件，特別是傳感器的位置，材料應力，溫度和密度
• 測量速度：100ms-1s/次，可設置
• 測量范圍：500000Å（鋁）
• 標準傳感器晶體：6MHz
• 計算機接口：RS-232/485串行接口（波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可設置，數據位：8，停止位：1，校驗：無）
• 模擬輸出：8比特分辨率，PWM脈寬調制輸出（集電極開路或內部5V輸出）
• 工作環境：溫度0-50℃，濕度5%-85%RH，不得有冷凝水珠
• 外形尺寸：90mm×50mm×18mm

EQ-TM106-2顯示儀：

• 輸入電源：AC 220V±10%
• 輸出電源：DC 5V 3A
• 顯示器：12×2數碼管與LED
• 通訊端口：RS-485（波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可設置，數據位：8位，停止位：1位 　，奇偶校驗：無）
• 外形尺寸：182mm×65mm×160mm

EQ-TM106-3探頭：

• 適用晶片頻率：6MHz
• 適用晶片尺寸：Φ14mm
• 安裝法蘭：CF35
• 冷卻水管：Φ3mm，長度300mm、500mm、1000mm
• 冷卻水壓：<0.3MPa
• 氣動擋板路管：Φ3mm

壓縮空氣壓力：烘烤溫度：通水狀態<200℃，不通水狀態法蘭<100℃

電氣接口：BCN插座

標準配件：1EQ-TM106-1監測組件1個2EQ-TM106-2顯示儀1臺3EQ-TM106-3探頭1個