無需復雜壓力轉換的 PVD 過程監控

Transpector XPR3 氣體分析儀提供的 RGA 過程監控功能可以為您提供有關污染級別、除氣級別、氣體純度和設備操作等方面的實時數據。用戶可以根據此信息檢測和診斷問題，從而*大化吞吐量和產量，也可以根據此信息制定更有效的預防性維護計劃，從而延長工具運行時間。

Transpector XPR3 是新一代氣體分析系統，可用于基于四極桿的高壓過程氣體分析。它借鑒了之前 INFICON 系統的成功經驗，具有*的靈敏度、準確性和靈活性，可以監控氣相沉積 (PVD) 過程。Transpector XPR3 取得了一系列技術上的突破，無需大型、復雜的壓力轉換設備，即可在 20 mTorr 至超高真空范圍內操作。

XPR3 氣體分析儀功能

• 經過重新設計的離子源*大限度減少污染積存，可延長使用壽命，提供更純凈的信號。
• 新 EM 在 PVD 過程壓力下工作，可實現更快速、更純凈的數據收集，消除 FC 向 EM 過度的必要，更便于數據分析。
• 更長的新型四極桿提高了低質量范圍下的濾波性能，增強了豐度靈敏度，從而提高了氫氣檢測靈敏度。

典型應用

• PVD 過程模塊
• 預清洗模塊
• 非群集 PVD 工具
• 夾鉗式除氣模塊