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XPR3 氣體分析儀

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更新時間:2019-10-19 22:23:59瀏覽次數:632

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產品簡介

XPR3 氣體分析儀經過重新設計的離子源*大限度減少污染積存,可延長使用壽命,提供更純凈的信號。

詳細介紹

無需復雜壓力轉換的 PVD 過程監控


Transpector XPR3 氣體分析儀提供的 RGA 過程監控功能可以為您提供有關污染級別、除氣級別、氣體純度和設備操作等方面的實時數據。用戶可以根據此信息檢測和診斷問題,從而*大化吞吐量和產量,也可以根據此信息制定更有效的預防性維護計劃,從而延長工具運行時間。

Transpector XPR3 是新一代氣體分析系統,可用于基于四極桿的高壓過程氣體分析。它借鑒了之前 INFICON 系統的成功經驗,具有*的靈敏度、準確性和靈活性,可以監控氣相沉積 (PVD) 過程。Transpector XPR3 取得了一系列技術上的突破,無需大型、復雜的壓力轉換設備,即可在 20 mTorr 至超高真空范圍內操作。

 

XPR3 氣體分析儀功能

  • 經過重新設計的離子源*大限度減少污染積存,可延長使用壽命,提供更純凈的信號。
  • 新 EM 在 PVD 過程壓力下工作,可實現更快速、更純凈的數據收集,消除 FC 向 EM 過度的必要,更便于數據分析。
  • 更長的新型四極桿提高了低質量范圍下的濾波性能,增強了豐度靈敏度,從而提高了氫氣檢測靈敏度。

典型應用

  • PVD 過程模塊
  • 預清洗模塊
  • 非群集 PVD 工具
  • 夾鉗式除氣模塊

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