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| 加工定制 | 是 | 輸出信號 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 制作工藝 | 其他 | 檢測原理 | NDIR |
| 檢測氣體 | SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2 | 量程 | 1~264ppm(0~200mTorr) |
四氟化硅傳感器四氟化硅傳感器是由四方光電自主研發的高性能氣體傳感器，產品基于非分光紅外技術(NDIR)，能夠精確測量半導體等應用中產生的SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體，兼容機臺內常見預留尺寸、法蘭和通訊協議，適合半導體行業化學沉積設備、原子層沉積設備腔室的清潔終點監測。
四氟化硅傳感器四氟化硅傳感器產品特性
使用NDIR技術，多氣體監測支持(SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體)
響應時間快，高靈敏度
無耗材
模擬/數字通信
模塊化設計，便于集成
四氟化硅傳感器技術參數
| 檢測原理 | NDIR |
| 檢測氣體 | SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2 |
| 量程 | 1~264ppm(0~200mTorr) |
| 重復性 | ±0.5% |
| 線性 | ±1%F.S. |
| 檢測限 | 1ppm |
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