反滲透高純水設備系統，是制取超純水設備常用的工藝，相對于反滲透+EDI超純水設備比較便宜，其優點在于初投資少，占用的地方少，但缺點就是需要經常進行離子再生，耗費大量酸堿，而且對環境有一定的破壞性。由于投資少很多客戶都會選擇此工藝，廣泛用于電子，光電，半導體，電鍍，鍋爐用水等行業。反滲透+混床超純水設備系統出水水質：電阻率≥10MΩ.CM,后面再加個精混床出水水質電阻率≥16MΩ.CM

反滲透高純水設備系統工藝流程：

市政自來水 → 原水箱 → 原水泵→ 機械濾器→ 活性炭濾器→ 中間水泵→ 中間水箱→ 反滲透裝置→ 高壓泵→ 保安濾器→ 混床→ 純水箱→ 純水用水點

原水中含有多種雜質，如懸浮物、膠體、有機物和無機物。爲保證本系統中反滲透預除鹽部分的正常運轉，必須先去除水中的懸浮物、膠體、有機物等，使反滲透的進水達到要求，故本系統設置原水預處理部分。原水預處理部分包括機械濾器、活性炭濾器、保安濾器等裝置

1、機械濾器：反滲透設備對進水的濁度有較高的要求，特別是反滲透進水的污染指數SDI值要求小于4，濁度小于1NTU。多介質濾器中的濾料包括五種規格的石英砂和無煙煤，用于除去原水中的懸浮物及脫穩后的膠體。在正常的使用時，水流速12.0m/h，機械濾器出力4.0m3/hr，送往活性炭濾器和保安濾器進一步處理作爲反滲透設備進水。

2、活性炭濾器：反滲透設備要求進水的余氯含量小于0.1mg/l，因此采用活性炭濾器脫除原水中的余氯，防止反滲透膜受到污染。同時可以進一步吸附原水中的有機物。活性炭濾器內填精制耶殼型活性炭，用于吸附原水中的余氯、有機物、部分色素和有害物質，降低化學耗氧量COD。活性炭被廣泛應用于生活用水及食品工業、化工等工業用水的凈化，由于活性炭的比表面積很大，其表面又布滿了平均爲20—30埃的微孔，因此，活性炭具有很高的吸附能力。此外，活性炭的表面有大量的羥基和羧基等官能團，可以對各種性質的有機物質進行化學吸附，以及靜電引力作用，因此，活性炭還能去除水中腐殖酸、富維酸、木質磺酸等有機物質，還可去除象余氯一類對反滲透膜有害的物質，防止反滲透膜被氧化。通常能夠去除63%—86%膠體物質，50%左右的鐵，以及47—60%的有機物質。 活性炭脫出余氯的過程是一個簡單的氧化還原過程。此過程有可能使活性炭破碎，但破碎的活性炭并不影響脫出余氯的效果，因此活性炭脫出余氯的效果非常強。

3、保安濾器：保安濾器屬于微濾設備，在預處理系統中起保險作用，當機械濾器工作狀態不正常時把關，爲保證任何情況下都能夠提供合格的供水,防止水中及管道中的微粒進入水泵和反滲透系統，特設置保安濾器作爲后的過濾裝置。當濾器進出囗壓差大于0.1Mpa時需更換濾芯（由于被過濾的介質直接進入到微孔濾膜的空隙中，因此很難通過酸堿清洗恢復通量）。濾器結構能滿足快速更換濾芯的要求。