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D07-11C 質量流量控制器/流量計(MASS FLOW CONTROLLER)
技術參數：
| 滿量程流量范圍(N2) | 5SCCM～30SLM | |
| 控制范圍 | 2～100％F.S. | |
| 閥類型(及閥初始狀態) | 電磁調節閥(常閉) | |
| 準確度 | ≤10SLM | ±1％F.S. |
| ＞10SLM | ±2％F.S. | |
| 線性 | ≤10SLM | ±0.5～1％F.S. |
| ＞10SLM | ±2％F.S. | |
| 重復精度 | ±0.2％F.S. | |
| 響應時間 | ≤4sec | |
| 工作溫度范圍 | 5～ | |
| 工作壓差 | ≤10SLM | 0.2～0.8MPa |
| ＞10SLM | 0.2～0.6MPa | |
| 耐壓 | 10MPa | |
| 漏氣率 | 1×10-9SCCSHe | |
| 密封材料 | 氟橡膠、聚四氟乙烯、氯丁橡膠 | |
| 接頭選擇 | VCR | 1/4” |
| Swagelok | 1/4”、1/8”或φ3、φ6mm | |
| 電插頭形式 | DB15 pin(Male) | |
| 抗電磁干擾 | CE | |
| 重量 | | |
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