高壓泵頭CAT5CP4110CSS泵組技術參數分析分子泵工作方法操作方法啟動渦輪分子泵(需先接通冷卻系統)。如果分子泵入口處裝有液氮冷阱，則應在泵加速到額定轉速后(一般需5~10min)加注液氮。粗抽系統的配置隨真空室的容積的大小而有所不同。對500L/s或更小的渦輪分子泵來說，可采用一臺雙級旋片泵；1000L/s以上的渦輪分子泵則采用以機械泵為前級泵的羅茨泵機組。在壓力為100到150Pa時關閉粗抽閥，把真空室切換到渦輪分子泵上。

CAT2SF30GES cat泵45G1/700G1

CAT4SF32ELS cat泵2SF35SEEL

CAT2SF35ES cat泵66DX30G1I

CAT2SF35GES cat泵2SF42SEEL

CAT3CP1140  cat泵5CP6251

CAT5CP3110CSS cat泵2SF30GS

CAT5CP2140WCS  cat泵3DX29GSI

CAT4SF40ELS   cat泵5CP6241CS

對某些泵，這樣做會引起輕微而滯后的瞬時減速，但這對抽氣并無影響。正如擴散泵抽氣系統那樣，渦輪分子泵系統中的主要的物質是水蒸氣，其抽氣時間將受液氮冷阱抽速的支配。如果不用液氮冷阱，那么這個系統抽除水蒸氣的速度就會比同樣抽速的無冷阱擴散泵略慢一些。在高真空抽氣過程的起始階段，泵的很大的未經烘烤的內表面會吸附水，然后再在較低的壓力下重新釋放出來。這種效應在無閥門的系統中更為明顯，因為它可能比未暴露在壓力高于150Pa的空氣環境的有閥門的系統吸附更多的水蒸氣。 高壓泵頭CAT5CP4110CSS泵組技術參數分析