工廠的工業廢氣處理設備性能特點：
效率高：對各種工廠排放的各類廢氣處理率都可到達85%~98%。
設備阻力低：是各種填料吸收塔中阻力z低的一種。
占地小：設備結構小，便于安裝、操作、管理，占地小。
廢氣處理設備應注意事項 :
1、在設備使用前仔細檢查設備各系統管道閥門完好程度，選用的吸收液藥劑是否正確，以及其配比是否準確。
2、用于工廠廢氣處理的風機與水泵的接線沒事的時候不要碰觸，保證其轉向的正確。
3、設備正式運行后，應派專人保管使用，每天做好檢查工作。
4、設備如果裝在室外，應該給水泵風機電機做好防雨工作，以防止電機受潮。
非主要生產廢氣處理設備
   按廢氣處理設備在使用中所起作用分為關鍵廢氣處理設備、主要廢氣處理設備、一般廢氣處理設備。在這種分類方法 中，廢氣處理設備究競劃分為關鍵、主要還是一般廢氣處理設備，在各部門、各行業中均有相關的規定„ 例如，機械部規定修理復雜系數大于5的均為主要生產廢氣處理設備，在5以下的為非主要生產 廢氣處理設備。
   按廢氣處理設備的技術特征分為高精度廢氣處理設備、大塑廢氣處理設備、重型稀有廢氣處理設備。
   按廢氣處理設備的適用范圍分為通用廢氣處理設備、廢氣處理設備。
   按廢氣處理設備的工作類型分為機械廢氣處理設備大類、動力廢氣處理設備大類。
   低溫等離子體是繼固態、液態、氣態之后的物質第四態，當外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到降解污染物的目的。
等離子體反應區富含*的物質，如高能電子、離子、自由基和激發態分子等，廢氣中的污染物質可與這些具有較高能量的物質發生反應，使污染物質在極短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到講解污染物的目的。與傳統的電暈放電形勢產生的低溫等離子技術相比較，等離子體技術放電密度是電暈放電的1500倍，這就是傳統低溫等離子體技術治理工業廢氣99%以失敗而告終的原因。