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天津瑞利光電科技有限公司


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WOP激光微加工一體化研發平臺FemtoLAB

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產品型號FemtoLAB

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更新時間:2024-05-07 09:08:29瀏覽次數:308次

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產品簡介

產品介紹FemtoLAB是一款飛秒激光微加工工作站

詳細介紹

產品介紹

FemtoLAB 是一款飛秒激光微加工工作站。需要為各種任務定制解決方案的科學實驗室和研發部的好選擇。FemtoLAB 激光工作站提供亞微米分辨率的組合激光微加工工藝,可執行多種應用。

性能特點
  • 制造具有亞微米分辨率的復雜物體
  • 高速高精度微加工
  • 光束傳輸和功率控制效率高
  • 工業級飛秒激光器
  • 高性能檢流計掃描儀
  • 物體運動與激光脈沖時空同步
  • 的軟件界面控制所有硬件單元
技術參數
  • 產地:立陶宛
  • 推薦材料:所有材料:玻璃、藍寶石、硅、陶瓷、金屬、塑料、光纖等。
  • 激光:高功率超短脈沖紅外、綠光、紫外激光
  • 樣本量:兼容 160 mm x 160 mm 的設計
  • 最小特征尺寸:200納米
  • 定位系統:XYZ 機械軸,定位精度 +- 0.3 μm,具有連續晶圓級圖案化
  • 掃描系統:適用于所有激光波長的振鏡系統
  • 樣品處理:手動與自動對齊
  • 尺寸(長 x 寬 x 高):1500 × 1350 × 1400mm
  • 重量:1100kg
  • 電源:2x 220 VAC, 16 A
產品參數


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