AMC來源于無塵車間內(nèi)及室外空氣。無塵車間內(nèi)的AMC主要來源于以下幾個方面：工藝牛產(chǎn)使用的各種化學(xué)品，工藝設(shè)備和原材料的氣體釋放，室內(nèi)操作人員以及各種建筑材料等。室外空氣中的AMC多少與IC廠房所在地的空氣質(zhì)量有關(guān)，且地方差異性較大，通常越是工廠集中的工業(yè)區(qū)來自室外的AMC就越嚴(yán)重。
3.2 AMC的控制
減少無塵車間內(nèi)的AMC應(yīng)從以下四個方面進行控制：
a)控制室內(nèi)產(chǎn)生：工藝生產(chǎn)線本身是AMC大的產(chǎn)生源，因工藝生產(chǎn)中要使用各種化學(xué)品，這些化學(xué)品或多或少的要散發(fā)到室內(nèi)空氣中形成AMC，所以首先應(yīng)從生產(chǎn)工藝上考慮盡量減少化學(xué)品的使用，另外應(yīng)控制工藝設(shè)備的制作材料、涂料的釋放氣體。無塵車間的各種建筑材料也是AMC的一大來源，建筑材料引起的AMC涉及面較廣，目前通常采取以下措施：盡量采用AMC釋放低的建筑裝修材料、涂料及密封材料，目前常用的建材中聚四氟乙烯、玻璃、不銹鋼、鋁合金、表面經(jīng)烤漆處理的金屬材料、高彈性聚氨脂涂料、環(huán)氧瓷漆等是可以接受的，而環(huán)氧樹脂涂料、硅
密封膠、單/雙面密封膠帶、阻燃劑已不適用了；改進建筑材料加工工藝，提高加工精度，工程中盡量不用密封膠；潔凈系統(tǒng)中的HEPA/ULPA過濾器應(yīng)采用聚四氟乙烯( PTFE)或低硼低有機物的玻璃纖維制作，另外目前常用的DOP測試方法以及鈉焰測試也是不能接受的，SEMATECH*采用以去離子水霧攜帶的固態(tài)聚苯乙烯(polystyrene latex，PSL)小球作為測試粒子；系統(tǒng)中的吸音材料盡量不用玻璃纖維，可以用發(fā)泡金屬等材料代替；上靜壓箱用無密封的烤漆板制作；制作風(fēng)管的材料必須脫脂，密封墊用丁基橡膠：無塵車間空間內(nèi)的電纜也應(yīng)采用AMC釋放低的材料制作。
b)控制室外侵入：首先無塵車間空間等應(yīng)密閉，使周圍環(huán)境的AMC不滲入無塵車間；其次應(yīng)防止室外空氣中的AMC進入無塵車間內(nèi)，為此有兩個方面需要考慮，*是新風(fēng)人口應(yīng)合理，盡量遠離排風(fēng)口及其他污染源，另外建廠地點應(yīng)合理。第二是IC廠所在地的室外空氣中如含有對生產(chǎn)工藝敏感的AMC，則在室外空氣送入無塵車間前應(yīng)進行可靠的處理，根據(jù)室外空氣中AMC的種類、濃度以及工藝要求在新風(fēng)處理機組中設(shè)置相應(yīng)的化學(xué)過濾器，也可以在新風(fēng)處理機組中設(shè)淋洗裝置加以去除。
c)控制擴散：對于生產(chǎn)中必須要使用化學(xué)品的工藝設(shè)備應(yīng)盡量采取密閉措施，并設(shè)置可靠的排風(fēng)，以減少化學(xué)品的散發(fā)。另外合理的氣流組織對防止擴散也很重要，潔凈系統(tǒng)設(shè)計時應(yīng)充分考慮減少各區(qū)域的氣流交叉。
d)化學(xué)過濾：采取了以上措施雖然可以降低無塵車間內(nèi)的AMC濃度，但不可能*杜絕AMC的產(chǎn)生，而有些生產(chǎn)工序?qū)?/span>AMC又比較敏感，雖然潔凈系統(tǒng)中裝有HEPA/ULPA過濾器，該過濾器對于過濾灰塵粒子有效果，但對于AMC幾乎不起作用，所以有些生產(chǎn)區(qū)域還應(yīng)設(shè)置化學(xué)過濾器，以去除無塵車間內(nèi)的AMC。通常做法是在FFU的HFPA/ULPA過濾器與風(fēng)機之間增設(shè)化學(xué)過濾器，針對區(qū)域一般是勻膠、顯影區(qū)以及CVD區(qū)。
