超純水初是美國科技界為了研制超純材料(半導體原件材料、納米精細陶瓷材料等)應用蒸餾、去離子化、反滲透技術或其它適當的超臨界精細技術生產出來的水，如今超純水已在生物、醫藥、汽車等領域廣泛應用。這種水中除了水分子(H20)外，幾乎沒有什么雜質，更沒有細菌、病毒、含氯二惡英等有機物，當然也沒有人體所需的礦物質微量元素，超純水無硬度，口感較甜，又常稱為軟水，可直接飲用，也可煮沸飲用。超純水,是一般工藝很難達到的程度，如水的電阻率大于18MΩ*cm，接近于18.3MΩ*cm則稱為超純水。
　　 超純水設備采用預處理、反滲透技術、超純化處理以及后級處理等方法，將水中的導電介質幾乎*去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水處理設備。
　　超純水設備的脫鹽核心部件為進口反滲透膜組件，超純水系統設備通常由預處理部分，反滲透主機部分，后處理部分共同組成。
　　1、預處理由石英砂過濾器、活性碳過濾器、全自動軟水器、精密過濾器組成，也可選用超濾系統作為預處理，但通常工程造價要高。預處理主要目的是去除原水中含有的泥沙，鐵銹、膠體物質、懸浮物、色度、異味、生化有機物。當原水中硬度較高時，可選擇全自動軟水器，這樣有效的保護了反滲透膜，從而延長了反滲透膜的使用壽命。
　　2、反滲透主機主要由高壓泵、膜殼、進口反滲透膜組件，在線儀表、控制電氣等組成。只要膜的數量及泵的型號選型得當，反滲透主機脫鹽率及產水量都能達到額定指標，出水電導率可保證在≤10us. CM以下，(原水電導率小于500us/cm,工作溫度：1～40℃)
　　3、后處理部分是對反滲透制取的純水作進一步的深化處理以制取超純水，通常是離子交換混床設備或EDI設備，根據客戶要求，出水阻率可達到18.2MΩ.CM，如果是應用在直飲水工藝上，則加上殺菌裝置即可，通常為紫外線殺菌器或者臭氧發生器，從而使生產出來的水達到使用標準。
　   設備應用范圍
　　（1）、電子工業用水：純凈水、蒸餾水、集成電路、硅晶片、顯示管等電子元器件沖洗；
　　（2）、制藥行業用水：大輸液、針劑、片劑、生化成品、設備清洗等；
　　（3）、工行業工藝用水：化工循環水、化工產品制造等；
　　（4）、電力行業鍋爐補給水：火力發電鍋爐、廠礦中高壓鍋爐動力系統；
　　（5）、食品工業用水：飲用純凈水、飲料、啤酒、白酒、保健品等用水；
　　（6）、生活飲用水：桶裝水、礦泉水、小區直飲水、學校直飲水；
　　（7）、其它工藝用水：造紙、電鍍、印染汽車、家電涂裝、鍍膜玻璃、扮裝品、精密化學品等。