目前由于離子交換操作麻煩，且環(huán)境污染嚴重，所以超純水設備的制造工藝通常有兩種，一種是反滲透加混床離子交換設備，一種是反滲透加EDI。

該設備主要采用的是反滲透裝置加混床系統(tǒng)，主體設備均采用不銹鋼材質，反滲透出水電導率10us/cm以下，再經(jīng)過混合離子交換器的過濾，出水可達15兆歐以上。

由于反滲透出水水質優(yōu)良，大大延長了混床的再生周期，提升了超純水水質品質，大型超純水系統(tǒng)須考慮到混床再生時的生產(chǎn)用水情況，且連續(xù)產(chǎn)水的情況，所以一般會采用一備一用，當其中一個混床再生或另一個混床自動工作。

1、采用離子交換樹脂制備工業(yè)超純水的傳統(tǒng)水處理方式，其基本工藝流程為：原水箱→增壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→陽離子交換床→陰離子交換床→混床(混合離子交換器)→超純水箱→用水點

2、采用反滲透水處理設備與離子交換設備進行組合制備工業(yè)超純水的方式，其基本工藝流程為：原水箱→原水增壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→反滲透設備→混合離子交換床→超純水箱→用水點

3、采用反滲透設備與電去離子(EDI)設備進行搭配制備工業(yè)超純水的的方式，這是一種制取超純水的新工藝，也是一種環(huán)保，經(jīng)濟，發(fā)展?jié)摿薮蟮某兯苽涔に嚕?/span>

其基本工藝流程為：原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟化過濾器→精密過濾器→一級高壓泵→一級反滲透設備→PH調節(jié)裝置→中間水箱→二級高壓泵→二級RO反滲透裝置→純水箱→EDI增壓水泵→電去離子水裝置(EDI)→超純水箱→超純水泵→0.22U微孔過濾器→用水點

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