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日立鍍層測厚儀FT110

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更新時間：2022-08-03 10:54:03瀏覽次數：336次

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產品簡介

日立鍍層測厚儀FT110具有以下特點：1.即放即測！2.10秒鐘完成50nm的極薄金鍍層測量！3.可無標樣測量！4.通過樣品整體圖像更方便選擇測量位置！FT110AX射線熒光鍍層厚度測量儀特長通過自動定位功能提高操作性測量樣品時，以往需花費約10秒的樣品對焦，現在3秒內即可完成，大大提高樣品定位的操作性

詳細介紹

日立鍍層測厚儀FT110具有以下特點：

1.即放即測！
2.10秒鐘完成50nm的極薄金鍍層測量！
3.可無標樣測量！
4.通過樣品整體圖像更方便選擇測量位置！

FT110A X射線熒光鍍層厚度測量儀特長

通過自動定位功能提高操作性
測量樣品時，以往需花費約10秒的樣品對焦，現在3秒內即可完成，大大提高樣品定位的操作性。
微區膜厚測量精度提高
通過縮小與樣品間的距離等，致使在微小準直器（0.1、0.2mm）下，也能夠大幅度提高膜厚測量的精度。
多達5層的多鍍層測量
使用薄膜FP法軟件，即使沒有厚度標準片也可進行多達5層10元素的多鍍層測量。
廣域觀察系統（選配）
可從250×200mm的樣品整體圖像測量位置。
對應大型印刷線路板（選配）
可對600×600mm的大型印刷線路板進行測量。
低價位
與以往機型相比，既提高了功能性又降低20%以上的價格。

FT110A X射線熒光鍍層厚度測量儀規格

型號	FT110A
測量元素	原子序號Ti（22）～Bi（83）
X射線源	空冷式小型X射線管管電壓：50（可變更）kV 管電流：10～1000µA
檢測器	比例計數管
準直器	○型： 0.1 mmΦ、0.2 mmΦ　他2種
樣品觀察	CCD攝像頭
對焦	激光對焦（自動）
濾波器	一次濾波器（自動切換）
樣品區域	[固定]535×530 mm [電動] 260×210 mm (移動量X:250 mm, Y:200 mm)
測量軟件	薄膜FP法（2層、10種元素）、檢量線法
安全功能	樣品室門聯鎖、樣品沖突防止功能、儀器診斷功能