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北京華林嘉業科技有限公司
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特點：生產主線為：該設備主要由濕法清洗工藝模塊+主軸旋轉系統模塊、清洗臂掃描旋轉系統模塊、N2吹干系統模塊、液體供應系統模塊、空氣凈化（配帶離子風機）及靜電去除系統模塊、安全消防系統模塊、電氣控制系統模塊等組成。本設備電器控制部分關鍵件均采用進口優質件，性能可靠，使用壽命長；頂部及背部設有吸風口，為防止污染空氣，用戶需外接風管抽風。本機臺是一個人機界面（觸摸屏）加PLC控制的半自動控制系統，操作者......
產品詳情：
項目 | 說明 | |
機臺型號 | CGB-SSC-XX； | |
機臺重量 | XX | |
清洗能力（采購方提供cassette樣品） | 8 inch wafer； | |
處理方式 | 單片處理 人工手動取放片，干進干出； | |
產能要求 | 濕法制程清洗工藝XXXX Pcs /月（按照＜30min/run，50PCS/Run，22小時/天，26天/月計算，預估值）； | |
設備形式（潔凈度：千級潔凈室） | 室內放置型； | |
機臺封面、主要結構材質 | 聚丙烯磁白PP 10T（）； | |
SUS304單鏡面板材1.5T（√）； | ||
機臺視窗 | 材質 | 透明、抗靜電之聚氯乙烯PVC 5T （）； |
SUS304單鏡面板材及鋼化玻璃 5T（√）； | ||
模式 | 上下舉升式（）； | |
左右推拉式（√）； | ||
機臺主機強度結構 | 整體SUS304不銹鋼結構骨架； | |
防漏盤 | 材質 | 聚丙烯磁白PP板材； |
模式 | 分體式 每側尺寸比設備本體長50mm； | |
漏液檢測裝置 | 材質 | 防腐材質； |
點式 | 單點式； | |
其它 | 水平調整 | 通過地腳調整設備水平； |
設備移動 | 設備裝有樹脂腳輪以備設備移動之用； | |
臺面板 | 材質 | ￠12mm左右洞洞結構 聚丙烯磁白PP板材（√）； |
￠12mm左右洞洞結構 SUS304單鏡面板材（）； | ||
模式 | 可拆式（√）； | |
一體式（）； | ||
排風系統 | 排風口位置 | 設備后頂部（√）； |
設備后部（）； | ||
排風通道結構 | 1） 排風強勁合理設計，為了排風效果達到，排風通道內設有風量導流板； 2） 為了方便操作人員根據情況及時調節排風量，操作人員可小范圍調節機臺排風背板上的可拆卸式(以便清除可能產生的結晶)排風柵欄再配合機臺視窗上的可調進氣模塊使用達到使用效果； 3） 設備排風通道的底部帶排液管，冷凝回流的廢液通過管道排放至機臺U型濕區內與QDR排出的廢水混合稀釋并排放至機臺后方廠務廢水專用管道內； | |
機臺的電控系統 | 安裝在機體的后部; 觸摸屏及電源控制開關、照明等安裝在設備正前方。各槽體的工藝過程均由PLC、觸摸屏、溫控器、傳感器等組成。設備具有上電手動操作復位功能。每個機臺可存儲X套工藝配方，操作者可通過觸摸屏調用預先編制好的工藝配方。軟件系統具有工藝配方參數設定、手動維護、自動運行、狀態監控等畫面。軟件具有報警信息、歷史記錄、維護信息等系統記錄。軟件系統具有3級加密進入權限設置：分別為設備作業員、設備工程師、工藝工程師，不可混用權限； | |
規格特點：
01）工藝說明: 人工傳動，手動方式實現傳送工件；
02）全程自動化控制，工藝過程中沒有人工干預，保證產品性能的一致性；
03）旋轉主軸及掃描清洗臂旋轉輔軸移動提升均采用日本伺服馬達，閉環控制，定位精度≤1mm，可靠性高；
04）具有系統急停開關和旋轉主軸馬達電機自動過載保護等多重保護，確保操作者的安全；
05）旋轉主軸及掃描清洗臂旋轉輔軸運行平穩，帶有過載和過流保護；
06）優化配管設置，節約藥液消耗量；
07）工藝柔性化設計，工藝更改方便迅速；
08）多工藝數據庫，可供用戶使用和存儲；
09）整機在使用、運行過程中平穩、可靠、不產塵、無溢出油污等，需潤滑的零件必須密封處理，定期更換潤滑油；
10）整機采用全封閉設計。設備運行且操作、維護和維修方便；
11）整機耐腐蝕溶液及揮發氣體的腐蝕，電器元件正常安全使用；
12）機臺設有緊急停止回路（EMO急停按鈕），并按照標準設置接地保護斷路器；
13）整機前后區隔離，底板傾斜設計，便于排液，處設有漏液報警，區域均設水槍，確保漏液及時沖洗；
14）清洗槽體及管路配有明顯標識或防錯設計，防止溶劑混用；
15）設計合理化的排風管路，使腐蝕液揮發氣體的污染最小化；
16）各種工藝參數超限、非正常加工處理條件、非正常操作、缺液、滿液等異常檢測告警系統和安全保護裝置；
17）生產日志、故障日志等記錄可定制保存時間，長期保持備查；操作簡單友好；工藝參數數顯檢測、報警控制分等級、嚴重緊急情況、超限等；故障提示導尋，故障原因明顯易查；
18）軟件系統采用多層級、多進程、單元模塊化設計，單一單元模塊故障不影響其他單元模塊工藝加工；
19）DIW槍及N2槍各1套；
20）機臺總進水口處安裝水阻計監測裝置（帶信號報警裝置），并加裝0.2us過濾器；
21）機臺總進口處（N2或CDA）安裝有壓力監測裝置（帶信號報警裝置）；
22）機臺頂部配有10級FFU；
23）機臺頂部配有靜電消除裝置；
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