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深圳市阿萊思斯科技有限公司
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日本BETHEL熱分析儀器熱物性顯微鏡熱物性顯微鏡 TM3B主要是測量熱物性值中熱滲透率的一種設備，可以進行微小領域（微米等級）和納米薄膜等的測量。
日本BETHEL熱分析儀器熱物性顯微鏡TM3B主要是測量熱物性值中熱滲透率的一種設備，可以進行微小領域（微米等級）和納米薄膜等的測量。
日本BETHEL熱分析儀器熱物性顯微鏡TM3B的優勢：
? 熱物性顯微鏡是測量熱物性值中熱滲透率的一種設備；
? 可以通過點、線、面測量樣品的熱物性；
? 可測量微米等級的熱物性值的分布；
? *非接觸方式且高分辨率的熱物性測量設備；
? 檢測光點徑3μm、高分辨率來測量微小領域的熱物性（點、線、面 測量）；
? 可改變深度范圍進行測量，從薄膜、多層膜到散裝材料都可測量；
? 基板上的樣品也可測量；
? 激光非接觸式測量；
? 可檢測薄膜下的裂紋、孔隙、脫落等問題。
微小領域（微米等級）、納米薄膜、Sic（單晶體、多晶體）、AIN等的測量。
測量環境 | 測量溫度 | 室溫 | |||
測量溫度（搭載加熱器時） | RT ∼ 300[℃] | － | |||
測量頻率 | 0.01[Hz] ∼ 100[kHz] | ||||
半導體激光 | 波長 | 808[nm] | |||
大輸出功率 | 1.5[W] | ||||
放射溫度計 | 元件 | InSb | |||
冷卻方法 | 液態氮 | ||||
平臺可動范圍 | 檢測平臺 | ±5[mm] | ±5[mm] | ±5[mm] | － |
樣品平臺 | ±10[mm] | － | － | － | |
重復精度 | ±5[%] | ||||
電源 | AC100-240[V], 10-5[A], 50/60[Hz] | ||||
激光安全 | CLASS Ⅰ LASER PRODUCT | ||||
IEC/EN 60825-1:2007 | |||||
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