超純水系統主要采用全自動反滲透+電去離子（EDI）+拋光混床超純水處理技術，前置預處理加反滲透處理，有效去除水中各種鹽份及雜質，然后運用CEDI及拋光混床系統，進一步提升水質，使出水達到用水工藝要求。

超純水系統水站部分施工難度大，其主要包括三個部分：設備的搬入及安裝、共用管架(簡稱共架，下同)的制作安裝以及管道的安裝。設備的搬入一定要注意編制詳細的設備吊裝方案，特別是對于超重、超大、易損設備，千萬不可以野蠻冒險施工。

共架的施工要注意兩個環節：

1、共架與土建結構連接處一定要堅固，采用預埋鐵板。若因種種原因不能預埋，則應用化學鉚栓固定在梁上，不應使用一般的簡易膨脹螺栓。切不可用鐵板和簡易膨脹螺栓固定在樓板上；

2、整段管架一定要保持水平，以免管道與共架接觸部位由于應力不均勻引起管道彎曲破損。水站的管道施工除CDA、氮氣及熱交換器用的蒸汽或冷熱水管道可以按系統進行施工外，其他站內管道施工可分為兩大部分，即共架管道施工和設備周邊配管施工。

超純水制水設備是一款設備。早期超純水的需求主要是來自發電、醫藥化工、造紙等行業，水質要求相對較低，其制備只要采用離子交換，該方法的主要缺點是化學藥劑再生，既麻煩又不經濟，而且由于強行樹脂對一般有機分子除去效果差，出水中TOC含量高，隨著半導體工業發展，對超純水質量要求提高，從而大大的推動了純水技術的發展，到了上個世紀末，膜技術得到了廣泛的應用，微濾，超濾，電滲析和反滲透技術*的水處理技術得到了飛速的發展，膜法制備純水取代了傳統的離子交換設備系統，解決了TOC問題，滿足了電子行業對純水質量的要求取設備工藝。