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株洲紅亞電熱設備有限公司


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化學氣相沉積石墨化一體爐

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具體成交價以合同協議為準

產品型號

品       牌

廠商性質生產商

所  在  地株洲市

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更新時間:2017-12-08 14:09:31瀏覽次數:464次

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經營模式:生產廠家

商鋪產品:9條

所在地區:湖南株洲市

聯系人:言亞軍 (總經理)

產品簡介

株洲紅亞電熱設備有限公司生產的化學氣相沉積爐主要用途:
本化學氣相沉積石墨化一體爐可用于以碳氫氣體(如C3H8等)為碳源的復合材料的化學氣相沉積,如C/C復合材料、SiC復合材料等的CVD、CVI處理、石墨件的表面增碳處理、石墨烯的生產。

詳細介紹

特點:

采用多功能高溫設計,可實現化學氣相沉積和石墨化處理一次性完成。

使用溫度高達2600,并可長時間穩定可靠運行。

采用熱電偶和紅外測溫儀組合的測溫自動轉換系統,可實現全溫度段的顯示和控制。

采用IGBT為主功率器件的感應加熱變頻控制系統,使得設備節能省電,諧波分量小,對外部設備無干擾。

進出氣體的精確流量顯示和控制,保證了產品的穩定性。

采用特殊結構沉積室,密封效果好,抗污染能力強; 

采用多通道沉積氣路,流場均勻,無沉積死角,沉積效果好;

特制的過濾系統,對炭沉積過程中產生的焦油、固體粉塵、有機氣體等能進行有效處理

化學氣相沉積石墨化一體爐技術參數

參數

型號

HYSJL-3040

HYSJL-4050

HYSJL-5060

HYSJL-6080

HYSJL-8080

工作區尺寸DXH(mm)

Ф300X

400

Ф400X

500

Ф500X

600

Ф600X

800

Ф800X

800

zui高工作溫度(

1500

2600

1500

2600

1500

2600

1500

2600

1500

2600

溫度均勻性(

±7.5

±7.5

±7.5

±7.5

±7.5

工作電壓(V)

三相380

額定功率(KW)

40

80

60

150

80

160

90

200

160

350

工作氣氛

真空/氬氣/氮氣/氫氣/炳烷/石油天然氣

以上化學氣相沉積爐技術參數可根據工藝參數進行調整,不作為驗收依據,具體以技術方案和協議為準。可將化學氣相沉積和高溫石墨化兩種功能分開,單獨做成化學氣相沉積爐和高溫石墨化爐。

 


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