羅茨真空泵機組是以羅茨泵為主泵, 以單級或雙級旋片泵做為前級泵串連而成。保留羅茨泵工作迅速、有較大抽氣速率的優點。所以該機組被廣泛運用于化工行業的真空蒸餾、真空蒸發、脫水結晶；食品行業的冷凍干燥，醫藥行業的真空干燥等工藝過程中。

羅茨泵真空泵機組工作性能：
根據各個真空系統工作壓力有所不同，在選配機組時必須掌握以下幾點：
1. 主泵必須在其較佳工作范圍內工作； 
2. 主泵或中間泵與前級泵的壓縮比不得其超過允許范圍； 
3. 前級泵與羅茨泵的配比盡可能小，當前級泵性能有所下降時，對系統的抽真空性能不會有大的影響。

真空機組故障分析與解決方法：
極限壓力不高
管道、系統漏氣——系統檢漏
泵部分漏氣——對泵進行檢漏
前級泵極限壓力下降——修理或更換前級泵
潤滑油太臟或牌號不符——更換潤滑油
油封磨損——更換油封
旁通閥處漏氣——對旁通閥進行清理

使用范圍：
使用于抽吸空氣及其它無可凝性、無腐蝕性的氣體，廣泛應用于需要大抽速和需要獲得低、高真空的各種真空系統，更是粗真空和中真空系統*。例如：真空冶煉、鋼液脫氣、真空燒結、大型空間模擬實驗中的動態真空的獲得，電力電容器、變壓器真空浸漬處理，日光燈管、燈泡自動生產線上的排氣，保溫瓶膽的連續排氣，真空鍍膜設備中的預抽，鎂還原過程中的抽氣，單晶硅提煉過程中的除氣等等。
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