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上海萬經泵業制造有限公司

如何取舍真空泵及務必應留神的問題

時間:2011-11-18閱讀:654
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 選用真空泵時,須要留神下列須知:

1、真空泵的作業壓強無須滿足真空設施的極限真空及作業壓強務求。如:真空鍍膜務求1×10-5mmHg的真空度,選用的真空泵的真空度至多要5×10-6mmHg。通常取舍泵的真空度要高于真空設施真空度半個到一個單位級。
2、錯誤地取舍真空泵的作業點。每種泵都有定然的作業壓強規模,如:放散泵為10-3~10-7mmHg,在那樣寬壓強規模內,泵的抽速隨壓強而變遷,其穩固的作業壓強規模為5×10-4~5×10-6mmHg。因此,泵的作業點無須選在某個規模之內,而使不得讓它在10-8mmHg下長期作業。又如鈦升華泵能夠在10-2mmHg下作業,但其作業壓強應小于1×10-5mmHg為好。
3、真空泵在其作業壓強下,應能排走真空設施工藝內中中產生的全副氣體量。
4、錯誤地組合真空泵。因為真空泵有取舍性抽氣,因此,有時選用一種泵使不得滿足抽氣務求,須要多少種泵組合起來,相互補充能力滿足抽氣務求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速,但使不得抽氦,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對稱負極濺射離子泵)對氬有定然的抽速,兩者組合起來,便會使真空安裝失去較好的真空度。另外,有的真空泵使不得在大氣壓下作業,須要預真空;有的真空泵入口壓強低于大氣壓,須要前級泵,舊都須要把泵組合起來運用。
5、真空設施對油凈化的務求。若設施寬大務求無油時,無須選各族無油泵,如:水環泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、高溫泵等。那末務求不寬大,能夠取舍有油泵,加上一些防油凈化措施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能達成骯臟真空務求。
6、理解被抽氣體成份,氣體中含不含可凝蒸氣,有無顆粒污垢,有無侵蝕性等。取舍真空泵時,須要曉得氣體成份,對準被抽氣體取舍相應的泵。那末氣體中含有蒸氣、顆粒、及侵蝕性氣體,無須思忖在泵的進氣口管路上衣置輔助設施,如冷凝器、除塵器等。
7、真空泵排進去的油蒸氣對條件的莫須有如何。那末條件不容許有凈化,能夠選無油真空泵,或者把油蒸氣排到露天。
8、真空泵作業時產生的振動對工藝內中及條件有無莫須有。若工藝內中不容許,應取舍無振動的泵或者采取防振動措施。
9、真空泵的價錢、運行及培修用度。      

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