低溫等離子體是繼固態、液態、氣態之后的物質第四態，當外加電壓達到氣體的 放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到降解污染物的目的。一般氣體放電，將會產生等離子，而這種放電現像就是通過某種機制使一個或者多個電子從氣體原理或分子 中分離出來，形成氣體媒質，這種媒質就稱為電離氣體，如果外電場產生了電離氣體，傳導電流就形成了，這種現象就被稱為氣體放電。而這種技術，就是工業廢氣處理的一種原理。
一般在常壓下進行氣體污染物的管理，而能在常壓下產生的等離子體只有電暈放電和介質陰擋放電兩種形式 。跟據氣體系能量狀態，溫度和離子密度，等離子體通常可分為高溫等離子體和低溫等離子體(包括熱等離 子體和冷等離子體)，其中低溫等離子體的電離度接近1，各種粒子的溫度幾呼相同，并且體系處于熱力學平衡狀態，它主要應用在受控熱核反應方面的研究。而這種技術，就是工業廢氣處理的一種原理。也就是說等離子廢氣處理就是處于電離狀態下的氣體，等離子體由大量的電子、離子、中性原子、激發態原子、光子和自由基等組成。一般氣體放電產生等離子體屬于低溫等離子體。另外也可以對低濃度、高流速、大風量的含揮發性有機污染物和含硫類污染物進行處理。常壓下，氣體放電產生的高度非平衡等離子體中電子溫度(數萬攝氏度)遠高于氣體溫度(100攝氏度)，在非平衡等離子體中可能發生各種類型的化學反應 ，主要決定于電子的均勻能量、電子密度、氣體溫度、有害氣體分子濃度和共存的其它氣體成份。但電子和正離子的電荷數必需相等，整體表現出電中性，這就是等離子的含義，等離子具有導電和受電磁影響的性質 ，在很多方面與固體、液體和氣體不同，因此又有人把它稱為物質的第四狀態。在等離子廢氣處理設備處于 熱力學非平衡狀態，各種粒子的狀態并不相同，其中電子的溫度(T)小于離子的溫度，電子的溫度達到 104K以上，離子的溫度可低到300-500K。而這種技術，就是工業廢氣處理的一種原理。在這一過程中高能電子起決定性作用，離子的熱運動作用。
DBD等離子體反應區富含*的物質，如高能電子、離子、自由基和激發態分子等，廢氣中的污染物質可與這些具有較高能量的物質發生反應，使污染物質在極短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到講解污染物的目的。與傳統的電暈放電形勢產生的低溫等離子技術相比較，DBD等離子體技術放電量是電暈放電的50倍，放電密度是電暈放電的130倍。所以,傳統低溫等離子體技術只能用于室內空氣異味治理,與其他低溫等離子體技術相比較，DBD等離子體技術是*用于工業化工藝廢氣治理的技術。
