SMC真空破壞閥泄漏的因素有很多，例如壓力的大小。、密封面的材料、密封面的磨損、閥內件的應力和變形。當使用調節閥時，有時閥門關閉，閥芯與閥座之間的密封面泄漏盡可能小，有些工藝條件要求調節閥不泄漏。因此，為了實現低泄漏量，存在各種結構和材料，例如，軟密封，即，諸如橡膠或聚四氟乙烯的柔軟材料被用作密封表面。
日本SMC真空破壞閥從全開到中間開度，閥門的流阻較小，接近全閉時，流阻急劇增加。較大的范圍內，流阻變化較小，在接近全閉時，流量變化較大，一定不要在閥門接近關閉時使用，這時很難進行流量的微調。閥門若開度極小，開口處的流速極快，會使閘板下側產生氣蝕，并伴有激烈的振動和噪聲，長時間節流運轉，往往會使閥體和閘板的金屬發生氣蝕。
日本SMC真空破壞閥工況若處在中間開度，閥板因為是靠兩側的導軌支撐，全閉時配合緊密，而中間位置時，閥板與導軌間隙大而產生振動。因此，即使在氣蝕發生率較低的區域，長時間使閥門節流運轉，導軌也會發生畸形、磨耗或損壞，且由于閥座不是全面接觸，而接觸部位表面壓力很高，往往會產生咬蝕或粘連，因此，不宜用于流量控制。還要注意，閘閥在小開度時，流量變化大，如果對閥門緊急啟閉，會造成壓力急劇上升或產生負壓，特別是關閥門時水錘的產生。

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1. 日本SMC真空破壞閥輸出力不足。氣動執行器作為帶動調節閥閥芯動作的動力部分，其輸出力要大于閥門關閉時需要的力，否則就會關閉不嚴，被介質壓力把閥芯頂開，造成內漏現象發生。所以選型時必須要核實工藝管路的壓差值，確保氣動執行器有足夠的輸出力關閉閥門。
2. 日本SMC真空破壞閥薄膜執行器的彈簧剛度不夠。氣開式薄膜調節閥是依靠彈簧力量來關閉閥門，打開時需要的驅動力較小，關閉時需要的力量要大些，要客服調節閥前后的壓差，當彈簧的力量不足以客服壓差力時就會出現關閉不嚴的情況。需要更換剛度大的彈簧來解決，例如原來的彈簧范圍是20-100KPa,就要更換為 40-200KPa。
3. 日本SMC真空破壞閥選型不對，不同種類的調節閥允許壓差是不同的，套筒調節閥和雙座調節閥比單座調節閥允許壓差大，角行程的V型調節球閥和偏心旋轉閥允許的壓差會更大些，在壓差比較大的工況下，合理選型就是非常重要的。
4. 日本SMC真空破壞閥內部有雜質，異物造成卡阻。需要拆開調節閥的閥蓋，取出閥芯，進行清洗，密封面損傷的要重新研磨，裝配好即可。調節閥入口配有過濾器，可以降低類似情況發生。
SMC真空破壞閥閥瓣啟閉平穩，緩閉副閥結構緊湊，性能是可靠的，在維護方面很方面，可以SMC真空破壞閥進行檢修或更換，無礙止回閥使用。

SMC真空破壞閥新設計、安裝的控制系統，為了確保電動調節閥在開車時能正常工作，并使系統安全運行，新閥在安裝之前，應首先檢查閥上的銘牌標記是否與設計要求相符。同時還應對以下項目進行調試。
SMC真空破壞閥基本誤差限；全行程偏差；回差；死區；泄漏量（在要求嚴格的場合時進行）。
如果是對原系統中調節閥進行了大修，除了對上述各項進行校驗外，還應對舊閥的填料函和連接處等部位進行密封性檢查。

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