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東莞市雅之雷德機電科技有限公司

微型隔膜真空泵

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真空熱處理爐中進口真空泵技術的發展

閱讀:224發布時間:2016-12-22

真空熱處理工藝的發展,是與設備的發展分不開的,提高設備技術水平以適應工藝要求,往往又與配套件技術的發展密切相關。

進口真空泵的發展

1873年發明白熾燈泡前,主要是用活塞式抽氣機獲得真空,但只能達到0.25乇的真空度。隨后電子管制造技術要求更高的真空度,就促進了真空技術的發展,因而相繼出現了各種真空泵:旋轉水銀泵(1905),油封旋轉泵(1907)、分子泵(1913)和擴散泵(1915)。其中擴散泵的發明、使真空技術進入高真空度(10-8毛左右)的階段。隨著近代科學技術的發展,例如加速器、熱核反應裝置,大型真空泵等,都要求能在大容積的空間建立必要的真空度。因此,到了60年代初期,好凱德擴散泵的排氣速度已達到了數萬升/秒的能力。

但是,就真空熱處理所需的真空度而言,一般達到1x10-2~1x10-4乇就足夠了,雅之雷德機電科技只在特殊情況下,才用1x10-5~1X10-6乇的真空度。所以真空熱處理爐常用的好凱德真空泵,是由機械泵和油蒸發擴散泵所組成。 


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