真空泵的抽氣性能因抽氣機理的不同而異。有些泵能直接從大氣壓力開始工作，有些則不能從大氣壓力開始工作，工作起始時必須有一個預真空。有些泵的排氣壓力高于大氣壓力，能直接將氣體排入大氣。另一些泵的排氣壓力很低，不能將氣體直接排入大氣，需要選用一個能將氣體排入大氣的真空泵作為它的前級泵。前級泵通常用油封式機械真空泵、液環真空泵和分子篩吸附泵等。一般說來，能從大氣壓力開始工作的真空泵，其排氣壓力通常也都高于大氣壓力。有的真空容器要求的工作真空很低，僅用一臺合適的真空泵抽氣，有的則要求很高，需要用兩臺或數臺抽氣機理不同的真空泵組合成真空系統來抽氣。因此，選用真空泵時還要考慮被抽氣體的性質：是清潔干燥空氣，還是含水汽、含塵氣體或易爆易燃氣體。真空泵的基本性能參數是抽氣速率、極限壓力、工作壓力范圍和何氏系數。
　　
　　①抽氣速率S：簡稱抽速。在泵吸氣口處給定任一壓力p時，單位時間內流入泵的氣體體積，即:S＝ΔV/Δt，式中ΔV是在Δt時間內流入泵的氣體體積。抽速的單位常用升每秒（1/s）或立方米每秒（m3/s）表示。因泵的吸氣量或排氣量qV＝Sp，抽速的另一表示式為S＝qV/p。
　　
　?、跇O限壓力:在漏氣和器壁放氣可以忽略不計的情況下，經相當長時間抽氣后泵逐漸達到的zui低壓力。
　　
　　③工作壓力范圍:泵具有較大抽氣能力時的壓力范圍。圖1為工業生產和科學試驗中常用的真空泵的工作壓力范圍（實線部分表示泵通常的工作壓力范圍）。
　　
　?、芎问舷禂?泵噴嘴間面積上的實際抽速與該處按分子瀉流計算的zui大理論抽速比。何氏系數是中國物理學家何增祿于20世紀30年代初在擴散泵的研究工作中提出的。在水蒸汽噴射泵、油擴散泵、油擴散噴射泵的設計或產品性能對比時，常需要使用何氏系數。

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