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高溫管式爐

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產品型號CVD（G）-07/50/2

品牌

廠商性質生產商

所在地合肥市

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更新時間：2022-07-12 14:52:11瀏覽次數：840次

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合肥日新高溫技術有限公司

經營模式：生產廠家

商鋪產品：18條

所在地區：安徽合肥市

聯系人：張先生

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產品簡介

高溫管式爐廣泛適用于高溫CVD工藝，例如：碳納米管的研制、晶體硅基板鍍膜、納米氧化鋅結構的可控生長、金屬材料的擴展焊接以及真空或保護氣氛下熱處理. 專門用于高校、科研院所材料研制。中國科技大學、合肥工業大學等均有本系列產品。

詳細介紹

應用領域： CVD系列高溫管式爐廣泛適用于高、中、低溫CVD工藝，例如：碳納米管的研制、晶體硅基板鍍膜、納米氧化鋅結構的可控生長等等；也可適用于金屬材料的擴展焊接以及真空或保護氣氛下熱處理.

產品特點： CVD系列高溫管式爐專門設計用于高溫材料沉積之用。硅鉬棒加熱、剛玉爐管爐膛, 可預抽真空,便于通入參加反應的氣體,進口單回路智能溫度控制儀控制、溫區設計隔板結構。具有溫度均勻、控制穩定、溫區間溫度擾動小、升溫速度快、節能、使用溫度高、壽命長等特點，是理想的科研設備。

技術指標：

設備型號	CVD（D）-06/60/3		CVD（Z）-06/30/1	CVD（G）-07/50/2	CVD（G）-09/50/1
zui高溫度	1050℃		1300℃	1650℃/1000℃	1650℃
使用溫度	RT—1000℃		850-1300℃	1000-1600℃	1000-1600℃
控制精度	±1.5℃		±1.5℃	±1.5℃	±1.5℃
溫區個數	3個		1個	2個	1個
加熱區長度	600mm		300mm	500mm（300mm/200mm）	500mm
爐管尺寸	ф60（外徑）×1400（mm）		ф60（外徑）×1000（mm）	ф70（外徑）×1450（mm）	ф90（外徑）×1450（mm）
爐管材料	石英管		剛玉管	剛玉管	剛玉管
發熱元件	進口電阻絲		電阻絲/硅碳棒	硅鉬棒、電阻絲	硅鉬棒
zui大裝機功率	4.5KW		3kw/8kw	10kw	12kw
CVD-□□□ 選件功能	/□	/□
	V		真空系列：單級機械泵+擴散泵機組
		Q	氣氛系統：浮子流量計；進口/國產質量流量計
備注： CVD系列真空氣氛管式爐（電爐、工業電爐、實驗電爐、高溫電爐、熱處理工業電爐）以上設備系統具備冷態極限真空6.67×10-2Pa接口條件；其他特殊工藝要求的訂貨時請說明。具體價格根據工藝要求不同面議，具體請：張，;