）氣體質量流量傳感器庫號M317075）氣體質量流量傳感器庫號M317075產品特點
;靈敏度高，有極小的始動流量；
;傳感芯片采用熱質量流量計量，無需溫度壓力補
償，了流量計的計量；
;在單個芯片上實現了多傳感器集成，使其量程比
達到了100:1甚至；
;各種連接方式，易于安裝與使用；
;輸出方式靈活，既可通過通訊接口主動上傳數據或
由上位機查詢輸出數據，也可通過模擬接口輸出
線性的模擬電壓；
;LED顯示瞬時流量和累積流量，允許現場用鍵盤配
置流量計參數；
;可記錄自上電以來瞬時流量的大值和小值，具
有量程指示功能；
;零點穩定度高；
;量程高穩定性、高精確度和優良的重復性；
;低功耗、低壓損；
;響應速度快。

產品簡介
氣體質量流量計是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設計的。這一系
列流量計均采用本公司自主研發（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清
潔、干燥氣體。*的封裝技術使之在相同的管徑下可測量不同范圍的流量，成本低、易安
裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統流量計并配以多種信號輸出，通過通
訊接口可實現對流量計的靈活配置與參數查詢。
具備LED數字顯示和按鍵功能，允許用
戶在現場調整或查詢流量計的參數。

產品應用
;環境監測
;電纜充氣機
;麻醉機
;機
;設備通風檢測裝置
;其他工業應用


性能指標
部件描述
性能參數 單位
通徑:8 mm
大流量:50SLPM
量程比：100：1
精度%： ±(1.5+0.2FS)
重復性%： 0.75
零點輸出漂移mV：±30
輸出漂移% / ℃：0.16
響應時間ms：100(默認，50，100，200，500，1000可設置)
工作電源：8～18Vdc，100mA
輸出方式：RS232, RS485, 模擬電壓0.5~4.5Vdc
顯示方式：4位7段LED數碼管顯示，2個指示燈
指示單位：瞬時流量：SLPM；累積流量：SL
顯示分辨率SLPM： 0.01，0.1可設置
大流量壓損： 600 Pa
大工作壓力MPa：1.0
工作溫度℃：-10～+55
儲存溫度℃：-20～+65
工作濕度%RH：<95
機械接口：R 1/4, NPT 1/4, 4mm/6mm/8mm快速接頭(可選)
鍵盤：三個按鍵
引出線：5插頭，配0.5m電纜
標準校準氣體空氣(或其他氣體)，20℃，101.325kPa
重量g：57

工作原理
小流量氣體質量流量計是自主研制的流量
傳感芯片，其原理是利用流動氣體傳熱傳質的依存關系，在其上、下游產生溫度變化而得到氣
體的質量流量。
該流量計同時實現熱源的產生與溫度的測量。當芯片處于工作狀態時，在傳感器的周邊形成
穩定的溫度場分布。一旦一定質量的氣體流過傳感器時，氣體的流動將破壞該溫度場的分布，
形成特定的、取決于該氣體的質量和速度的溫度場分布。微機電系統流量計芯片上的傳感器將
測量這一變化并把這一變化轉換為電信號，由一個專門的電路變送器對此信號進行放大、調理
并作線性化處理。由于不同質量的氣體對傳感器的周邊形成穩定的溫度場分布所產生的擾動不
同，因而能測量氣體的質量流量或總流量。

安裝使用
請按以下順序安裝和使用流量計：
1）打開產品包裝盒，包裝盒內應包含下列物品：
a）質量流量計一只；
b）帶接頭連接電纜一根；
c）說明書一份；
d）合格證一份;
2）確認產品無任何機械損壞;
3）將產品的引線按照所給定義正確連接到使用裝置上;
4）確認連接正確后，接通電源;
5）接通電源預熱15分鐘后測量的參數值精度會。

RS232通訊方式