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上海貝丁漢工業自動化設備有限公司
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產品功能在同一光路方向，對被測物體進行位移、偏擺角和俯仰角的同步測量
產品功能
在同一光路方向，對被測物體進行位移、偏擺角和俯仰角的同步測量。
系統特點
*光導性激光器，體積小，重量輕。
*干涉鏡集成在激光器里，光路調節極其簡單。
*反射鏡個性化設計，廣泛應用于多種場合。
*三軸數據同步精度：20ns。
*所有3軸實時數據測量，無延時。
*使用高精度溫度傳感器進行數據補償。
技術參數
| 型號ZLM900 | 參數 |
| 位移測量范圍 | 5 m |
| 位移測量分辨率 | 20 pm |
| 位移測量精度 | ±0.1μm/m |
| 角度測量范圍 | 使用角錐反射鏡：±12.5° 使用平面反射鏡：±1.5角分（建議距離小于2m） |
| 角度測量分辨率（位移分辨率為0.1nm時） | 0.002角秒 |
| 激光束間距 | 12 mm |
| 波長 | 632.8nm |
| 穩頻精度 | 2x10^-8 |
| 預熱時長 | 10-20分鐘 |
| 工作溫度 | 15-30℃ |
| 激光器含基座尺寸 | 202x137x72 mm |
| 反射鏡尺寸 | 45x45x20 mm |
| 數據處理器尺寸 | 450x450x150 mm |
| 激光器含基座重量 | 1.9 kg |
| 反射鏡重量 | 80 g |
| 數據處理器重量 | 8 kg |
| 數據接口 | RS232C、USB |
| 激光器與數據處理器之間線纜長度 | 3 m （可選10 m） |
| 工作電源 | 100-240VAC，47-63Hz |
| 激光安全等級 | 2M，II |
系統構成
1.三維激光器及安裝底座 一套
2.三維反射鏡 一個
3.三軸數據處理器 一套
4.環境補償器 一套
系統示意圖
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