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邁可諾技術有限公司


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SEM掃描電鏡等離子清洗機

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參   考   價: 100

訂  貨  量: ≥1 臺

具體成交價以合同協議為準

產品型號Tergeo EM

品       牌

廠商性質代理商

所  在  地上海市

聯系方式:趙先生查看聯系方式

更新時間:2022-07-22 14:15:30瀏覽次數:1709次

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經營模式:代理商

商鋪產品:59條

所在地區:上海上海市

聯系人:趙先生 (經理)

產品簡介
尺寸 內徑110毫米    

污染物對電子顯微鏡SEM/TEM和其它高真空系統產生的影響

潤滑劑、真空脂、泵油樣品中的高分子聚合物,或未經處理的空氣都會把碳氫污染物引到真空系統中。低蒸汽壓下高分子重污染物會凝聚在樣品表面和腔室壁上,而使用普通氣體吹掃方法很難把碳氫污染物清除。

電子和高能光子(EUV, X-ray)能夠分解存在于真空系統中或樣品上的碳氫污染物。碳氫化合物的分解產物沉積在被觀測的樣品表面或電子光學部件

詳細介紹

1、控制系統

1)操作界面:7英寸電阻觸摸屏操作界面,支持多種工作方式。

2)程序控制:可編程,總共有20個程序,每個程序有3個清潔步驟

2、反應腔體

1)腔體材質:圓柱形石英玻璃艙。

2)腔體尺寸:內徑110毫米,外徑120毫米,深度280毫米,壁厚:5毫米。

3)前觀測窗:前方開口,5毫米厚石英玻璃可視窗口,可觀測內腔等離子狀態,并帶有防真空泄漏和避免高壓的聯鎖裝置,有效保護操作的安全性;

3、射頻電源

1)射頻頻率:13.56MHz

2)射頻功率:標配0~75W;可選配0~150W。從0瓦到150瓦之間以1瓦間距連續可調,自動阻抗匹配。

3)射頻輸出可以工作在脈沖方式,脈沖比可以從1/255調到255/255(連續輸出)。

4、等離子源

1)等離子強度探測器實時測量等離子源強度。

2)電阻耦合電離方式。

3)外置電極設計,高壓電極不合等離子接觸以避免金屬濺射造成的樣品污染。

5、氣體控制

1)氣路控制:標配一路MFC;可選配三路MFC;

2)質量流量計可以在0~100sccm之間控制氣體流量;

3)一路(Venting and purging)氣體入口用來快速給樣品室放氣和沖走殘余處理氣體。

4)自動放氣流程控制可以保護真空泵不受影響。

5)高性能氣壓計可以測量1e-4 Torr到大氣壓之間的氣壓。

66mm氣體接口。

6、真空系統

1KF25法蘭接口用來連接真空泵。

2)真空要求:抽速:>1.7m3/h;

3)低氣壓:<=200mTorr. 

產品相關關鍵字: SEM掃描 SEM掃描電鏡 電鏡等離子清潔儀 遠程等離子清潔儀 電子顯微鏡SEM


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