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美國PIE等離子清洗機

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產(chǎn)品型號Tergeo

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更新時間：2022-07-22 14:15:30瀏覽次數(shù)：1157次

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產(chǎn)品簡介

功率	標配75W版本，可選150W版本；

1）腔體材質(zhì)：圓柱形石英玻璃艙；

2）腔體容積：2.6L；

3）腔體尺寸：內(nèi)徑：110毫米，深度：280毫米。

詳細介紹

1、反應腔體

1）腔體材質(zhì)：圓柱形石英玻璃艙；

2）腔體容積：2.6L；

3）腔體尺寸：內(nèi)徑：110毫米，深度：280毫米。

2、射頻電源

1）射頻頻率：13.56MHz；

2）射頻功率：標配0~75W；從0瓦到75瓦之間以1瓦間距連續(xù)可調(diào)，可選0~150W；。

3、等離子源

1）等離子強度探測器實時測量等離子源強度。

2）外置電極設計，高壓電極不合等離子接觸以避免金屬濺射造成的樣品污染。

4、氣體控制

1）氣路控制：標配一路MFC；可選配三路MFC；

2）質(zhì)量流量計可以在0~100sccm之間準確控制氣體流量；

3）一路(Venting and purging)氣體入口用來快速給樣品室放氣和沖走殘余處理氣體。

產(chǎn)品相關關鍵字：基本型等離子擴展型等離子清洗機等離子體表面處理 Plasma Cleaner 等離子清洗機系統(tǒng)

關鍵詞：質(zhì)量流量計等離子清洗機



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