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邁可諾技術有限公司
邁可諾技術有限公司
| 測量范圍 | 12000mg/L | 加熱功率 | 600w |
|---|---|---|---|
| 消解瓶容量 | 100ml | 測量誤差 | 1 |
| 環境溫度 | 22℃ | 消解瓶容量 | 100ml |
| 消解時間 | 1min | 消解樣品數 | 1個人 |
MINN M6實驗室勻膠旋涂儀可旋涂處理小碎片至6英寸圓晶圓片，使用無刷直流雙向旋轉馬達控制，轉速穩定，控制器可拆卸配合手套箱使用，4.3英寸全彩觸屏人機界面操作，簡單易用。M6 Spin Coater外形美觀，結構緊湊，專為實驗室，研發和小規模生產部門提供性價比高的勻膠涂覆設備。MINN M6勻膠旋涂儀 在材料、化學或生物等實驗室被廣泛用于薄膜制備，納米薄膜研究等相關領域。
實驗室勻膠旋涂儀
技術參數
▲1.保護氣體裝置：旋涂過程中對旋轉馬達進行氣流保護（可選擇取消）；
2.支持Wafer尺寸：小標配為10 mm，可選配到3mm或5mm；大到直徑6英寸（150mm）的圓片或邊長5x5英寸（125x125mm）的方片，無需更換片托；
3.設備材質：全部采用易清潔的NPP天然聚丙烯材質，環保，抗震，耐腐蝕；
▲4.無刷馬達：直流雙向旋轉，正反旋轉速度±100~±12000rpm，穩定性能誤差±1rpm；
5.馬達安全模式：可設置非真空模式，轉速3000rpm，加速度500rpm/s；
6.加速度可控范圍：100-30000RPM/S；
7.工藝時間：每步可以設定45小時，精度不超過0.1秒；
8. PLC控制：4.3英寸全彩觸摸屏高精度PLC可編程的控制器；
9.程序段：可存儲99個程序段，每個程序段可設置50個不同步驟的速度狀態；
10.無油真空泵：220V/50Hz；真空吸附范圍25-28 英寸汞柱 (~635-711毫米汞柱)可調節；
11.擴展功能：可升級預留端口，可擴展自動滴膠裝置、自動去邊裝置、手動去邊等選配項。
實驗室勻膠旋涂儀設備性能特點
馬達控制：無刷直流雙向旋轉；
智能程控：控制器可拆卸，4.3英寸寸全彩觸屏，配有智能觸碰筆，按鍵有提示音，功能有顏色區分，適用于手套箱；
腔體材質：易清潔的NPP天然聚丙烯材質，抗腐蝕性；
模式切換：可自由切換單步模式、多步模式和曲線分析圖；
防止堵膠：雙真空腔設計；
預留端口：可升級擴展其他多種選配項；
密碼功能：設有開機密碼和管理員密碼，管理員有權限修改核心參數；
安全報警：系統蓋板嵌鎖、真空異常、通氣異常、系統進膠、馬達轉速異常均會報警，通過聲音和界面對話框提示；
氣流保護：旋涂過程中對馬達進行氣流保護（也可選擇取消），易維護，易清潔，大幅提高馬達使用壽命；
四、應用領域
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