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蘇州安峰環保有限公司
超純水處理系統在百級無塵室設計案例項目背景:該超純水處理系統應用于百級無塵室內中,該項目對超純水處理要求高,原水水質為企業自來水要求,出水要求要達到百級芯片清洗水
項目背景:該超純水處理系統應用于百級無塵室內中,該項目對超純水處理要求高,原水水質為企業自來水要求,出水要求要達到百級芯片清洗水。進水經過預處理工藝,要進入二級反滲透膜工藝,對水質進行除鹽過濾。同時,要進行EDI深度除鹽處理設計,在末端再經過TOC脫除器脫除有機物以及拋光混床進一步精處理,最終經過超濾膜過濾后,出水水質就可以滿足用水點的水質要求。
項目工藝:
水質要求:超純水的水質指標要求:電導率≥18兆歐、TOC<3ppb、particle(≥0.1um)<3pcs/mL
現場照片:
項目實施:2020年5月進場,7月份完成建設并投入運行。
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