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標準集團（香港）有限公司
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三維輪廓測量儀-光學3D表面輪廓測量儀采用白光軸向色差原理（性能優于白光干涉輪廓儀與激光干涉輪廓儀）對樣品表面進行快速、重復性高、高分辨率的三維測量
主要用途：
三維輪廓測量儀-光學3D表面輪廓測量儀采用白光軸向色差原理（性能優于白光干涉輪廓儀與激光干涉輪廓儀）對樣品表面進行快速、重復性高、高分辨率的三維測量，測量范圍可從納米級粗糙度到毫米級的表面形貌，臺階高度，給MEMS、半導體材料、太陽能電池、醫療工程、制藥、生物材料，光學元件、陶瓷和*材料的研發和生產提供了一個精確的、價格合理的計量方案。
技術參數：
垂直測量范圍：27mm
垂直分辨率：<2nm
掃描速度：1m/s
橫向分辨率：5nm
可視區域：400*600mm
三維非接觸式光學輪廓儀技術參數：
垂直測量范圍：27mm
垂直分辨率：<2nm
掃描速度：20mm/s
橫向分辨率：0.1m
測量范圍：150mm×150mm
產品特性：
1.采用白光軸向色像差技術，可獲得納米級的分辨率
2.測量具有非破壞性，測量速度快，精確度高
3.尤其適合測量高坡度高曲折度的材料表面
4.不受樣品反射率的影響
5.不受環境光的影響
6.測量簡單，樣品無需特殊處理
7.Z方向max測量范圍為27mm
8.測量范圍廣，可測透明、金屬材料，半透明、高漫反射，低反射率、拋光、粗糙材料(金屬、玻璃、木頭、合成材料、光學材料、塑料、涂層、涂料、漆、紙、皮膚、頭發、牙齒…)
美國NANOVEA公司是一家*的在微納米尺度上的光學表面輪廓測量技術的*，生產的光學輪廓儀是目前上用在科學研究和工業領域的*表面輪廓測量設備，該公司在光學設計、精密機械和科學軟件算法方面，擁有*不斷發展的技術，由于這些專門技術的應用，NANOVEA為生產和質量控制的研究和發展提供精密準確的*解決方案。
NANOVEA的表面測量系統適用于研發和生產過程控制中的定性和定量測量，其核心部件達到納米尺度的創新的光學設計，其強大且友好的軟件控制使所需獲得的數據不僅速度快，而且精度高，并提供了多種不同的表面分析方法，與系統匹配的軟件包含參數設定(如掃描尺寸、線數、步進、轉換臺速度、數據采樣速度)和數據后處理功能(如Abbott-Firestone曲線、快速傅立葉變換、自相關功能、三維成像、二維切片成像等) ，可以定量地測量表面粗糙度及關鍵尺寸，諸如晶粒、膜厚、孔洞深度、長寬、線粗糙度、面粗糙度等，并計算關鍵部位的面積和體積等參數。
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